無駄なエネルギーの消費を止めよう：なぜゴールド製の反射材が重要なのか
半導体製造工場において、無駄に消費される1ワットものエネルギーは、実質的には会社の損失と同じです。多くの人々は、熱が逃げてしまうのは仕方ないと考えていますが、私たちはもっと良い方法を見つけました。それはゴールドを使うことです。
これは贅沢のためではなく、物理的な特性によるものです。
一般的な反射材でも十分機能しますが、エネルギーを吸収したり、望ましくない方向に散乱させたりする傾向があります。しかしゴールドは違います。赤外線を効果的に反射するのです。反射材にゴールドをコーティングすることで、熱が機械のフレームに吸収されるのを防ぎ、正確にウェハーに伝わるようになります。
最も良い点は、出力を上げなくても、より強烈な熱が得られるということです。
ただし、そう簡単に使えるわけではありません。こんなに多くのエネルギーを一箇所に集中させると、巨大な熱ストレスが生じます。確かに効率的ですが、冷却システムに大きな負担がかかります。もし冷却装置がその負荷に耐えられなければ、センサーが壊れたり、筐体が変形したりしてしまいます。
自分を大切にしてください：まずは空気の流れや冷却能力をチェックしてください。破損した部品を交換するよりも、冷却装置をアップグレードする方がずっと安上がりです。
冷却システムが整えば、このシステムの設置は非常に簡単です。既存の加熱装置にそのまま取り付けられます。
放射熱が非常に集中されているため、通常、より低い出力で目的の温度に到達できます。これにより、電力装置への負担が減り、さらにウェハーの加熱速度も速くなります。
迅速な加熱によって、サイクルタイムが短縮されます。また、ウェハー全体の温度分布も均一になります。もう不快なホットスポットの心配はありません。より高い歩留まりと、より安定したプロセスが実現됩니다。