シャードの発生を防ぐ：ウェーハ処理におけるチューブの破裂対策
高負荷のファブでは、赤外線ランプが破裂するのは大変な問題です。停電による損失だけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散らばってしまうため、大惨事となります。これは絶対に避けなければならない状況です。
だからこそ、私たちは金製の反射器を使った赤外線ランプを開発したのです。
なぜ金が重要なのか
一般的にはアルミニウム製の反射器が使われますが、アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収してしまいます。そこで、私たちは高純度の金コーティングを採用しました。
なぜかというと、金は赤外線の熱を効果的に反射できるからです。熱を必要な場所、つまりウェーハの方向に導くことで、ランプの外殻が焼けるのを防ぎます。外殻が冷たい状態を保てば、チューブも熱衝撃によるダメージを受けにくくなり、長持ちします。
チューブの破裂を防ぐ方法
通常、チューブが破裂するのは、熱が不均一になったり、端のシール部分が壊れたりするからです。
これを解決するために、私たちは厚壁の融着石英を使用しています。これにより、ハロゲンサイクルによる内部圧力に耐えることができます。また、シール部分も急激な温度変化にも耐えられるように設計されています。
ただし、注意点があります。**電圧の急上昇には気を付けてください。**定格出力を超えて使用すると、チューブが早く壊れてしまいます。必ず正確なPIDコントローラーを併用しましょう。そうすれば、チューブが破裂するのを防げます。
汚染を防ぐ方法
どんなに優れた装置を使っても、トラブルは起こり得ます。ウェーハに粒子が付着しないように、ランプを遮蔽された構造の中に収めています。
金製の反射器は二重の役割を果たします。熱を反射するだけでなく、壁としても機能します。もしチューブが破損しても、外殻が破片を受け止めてくれるので、製品に破片が付着することはありません。
最後に、冷却ファンを清潔に保つことです。空気の流れが悪くなると、外殻内に熱が溜まり、時間が経つにつれて金層が歪んでしまいます。空気の流れを保ち、温度を安定させておけば、歩留まりも良好に保てます。