जब कुछ गलत हो जाता है, तो अपने वेफर्स को साफ रखना आवश्यक है।
उच्च-लोड वाले फैब्रिकेशन उपकरणों में, लैंपों में खराबी एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में न केवल उपकरण बंद रह जाते हैं, बल्कि क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाने पर काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ सिलिकॉन पर गिर जाते हैं। इससे उत्पादन प्रक्रिया पर बहुत बुरा प्रभाव पड़ता है।
हम अपने IR क्यूरिंग लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि “सबसे खराब स्थिति” में भी उपकरण खराब न हों।
टूटने से बचना
हम ऐसा करने हेतु टूटने-रोधी कवर या आंतरिक FEP कोटिंग का उपयोग करते हैं। इसे एक “सुरक्षा जाल” के रूप में ही समझें। यदि ट्यूब थर्मल शॉक या अचानक विद्युत धारा के कारण टूट जाती है, तो यह कोटिंग सब कुछ को एक साथ रखती है।
इससे क्लीनरूम में गंदगी नहीं फैलती, और समस्या आसानी से ही सुलझ जाती है।
ऊष्मा से निपटना
जब उच्च वोल्टेज का उपयोग किया जाता है, तो उपकरण बहुत गर्म हो जाते हैं। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं, ताकि लैंप जल्दी न खराब हों। लेकिन लैंप के आसपास के उपकरणों को भी उच्च गर्मी को सहन करना ही पड़ता है।
यदि वायुप्रवाह रुक जाता है, तो ट्यूब के छोर बहुत गर्म हो जाते हैं, जिससे सील टूट सकती है। इसे रोकने हेतु हम मजबूत एंड-कैपों का उपयोग करते हैं। ऐसे कैप तब भी मजबूत रहते हैं, जब वोल्टेज सीमा तक पहुँच जाता है।
विद्युत संबंधी समस्याएँ
ढीले कनेक्शन भी एक बड़ी समस्या हैं। ऐसी स्थिति में आर्किंग हो जाती है, जिससे छोटे-छोटे गर्म बिंदु बन जाते हैं, जो अंततः ट्यूब को नष्ट कर देते हैं।
हम प्रीसिज़न-फिट कनेक्टरों का उपयोग करते हैं; क्योंकि ऐसे कनेक्टर ही लैंप को स्थिर रखने में मदद करते हैं।
एक आसान सुझाव: अपने पावर सप्लाई को स्थिर रखें। बेहतरीन कोटिंग भी तेज़ विद्युत धारा से ट्यूब को बचा नहीं सकती। हम ऐसे लैंपों को भारी उपयोग हेतु ही डिज़ाइन करते हैं, लेकिन उनके लिए भी एक स्थिर विद्युत वातावरण आवश्यक है।