
फैब में गर्मी से निपटना
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर फैब में उच्च-तीव्रता वाले आईआर लैंपों के आसपास काम किया है, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। ऐसे लैंप तो अपना काम तो कर ही लेते हैं, लेकिन वे वास्तव में “छोटे सूर्य” ही हैं। बिना किसी योजना के, यह गर्मी हर जगह फैल जाती है।
जल्द ही, आपके उपकरणों की आंतरिक दीवारें जलने लगती हैं। यह एक भयावह स्थिति है… न केवल इसलिए कि ऑपरेटरों को चोट लग सकती है, बल्कि इसलिए भी कि आपके संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक उपकरण भी नष्ट हो सकते हैं।
क्वार्ट्ज ग्लास का उपयोग
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज शील्डों का उपयोग करके इस समस्या को नियंत्रित करते हैं। क्वार्ट्ज की खूबी यह है कि यह गर्मी को आसानी से सह सकता है, एवं आवश्यक आईआर तरंगदैर्घ्यों को ही पार होने देता है; जबकि अनावश्यक गर्मी को रोक देता है।
इसे एक “थर्मल बैरियर” के रूप में ही समझें। लैंप एवं दीवार के बीच क्वार्ट्ज शील्ड लगाने से, गर्मी को नियंत्रित किया जा सकता है। ऊर्जा ठीक उसी जगह पहुँचती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… लेकिन लैंप के आसपास की हवा नियंत्रित रहती है।
लेकिन…
कुछ भी परफेक्ट नहीं है। क्वार्ट्ज तो बेहतरीन विकल्प है… क्योंकि तापमान में बदलाव होने पर भी यह विकृत नहीं होता… लेकिन इसके लिए स्वच्छता आवश्यक है।
यदि काँच पर धूल या कोई अन्य पदार्थ जम जाए, तो वह आईआर ऊर्जा को अवशोषित कर लेता है… इससे “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… और ऐसी स्थिति में शील्ड टूट सकता है।
इसके अलावा, परावर्तन के कारण थोड़ी गर्मी भी बर्बाद हो जाती है… यह कोई बड़ी समस्या नहीं है… लेकिन प्रक्रिया के लिए आवश्यक तापमान बनाए रखने हेतु लैंप की शक्ति को थोड़ा बढ़ाना ही पड़ सकता है।