Korrekte Anwendung der Wärmekameras in Ihren Wafer-Tools
Wenn Sie versuchen, zu einer intelligenteren Fertigungsmethode überzugehen, haben Sie wohl bereits erkannt, dass herkömmliche Kontaktthermometer nicht mehr ausreichen. Sie sind langsam – und ehrlich gesagt: Das Berühren des Wafers ist ein Risiko, das man eigentlich vermeiden sollte.
Deshalb verwenden wir jetzt hochgeschwindige Infrarot-Sensoren. So können wir Echtzeit-Wärmekarten ohne jeglichen Kontakt zur Oberfläche des Wafers erstellen. Keine Kontamination, kein mechanischer Stress – nur saubere Daten.
Hören Sie auf zu raten – sehen Sie stattdessen!
Die digitale Produktion basiert auf Datenströmen. Wir schließen die Infrarotsensoren direkt an Ihr PLC- oder SCADA-System an – dadurch werden Wärmestrahlungen sofort in digitale Signale umgewandelt.
Das Beste daran: Sie können nun die tatsächliche Oberfläche des Wafers sehen. Mit Thermokupplungen müssen Sie oft nur aufgrund der Temperatur des Trägers oder der Kammerwände raten. Jetzt erhalten Sie einen direkten Einblick. Wenn sich etwas auf der 300-mm-Oberfläche bewegt, wissen Sie es sofort und können die Heizelemente entsprechend anpassen.
Umgang mit dem „Fensterproblem“
Vakuumkammern sind extrem schwierige Umgebungen. Das größte Problem ist meist der „Fenstereffekt“ – dabei blockieren die Quarz- oder Saphirfenster die Infrarotsignale.
Es ist frustrierend, aber wir haben eine Lösung gefunden. Wir kalibrieren unsere Sensoren so, dass sie bestimmte Wellenlängenbereiche nutzen, die durch diese Materialien hindurchgehen.
Ein Hinweis: Halten Sie den optischen Weg sauber. Wenn sich Ausgasungsreste auf dem Fenster ablagern, beginnen die Messwerte durcheinanderzugehen. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie macht den Unterschied zwischen einem perfekten Produktionsprozess und verschwendeten Wafers.
Die Abwägung
Der Vorteil für die Gestaltung Ihrer Tools ist enorm: Sie können diese sperrigen Prüfsensoren weglassen und somit Platz in der Kammer sparen. Dadurch wirken die Tools viel kompakter.
Aber es gibt auch Nachteile. Hochauflösende Infrarotsensoren erzeugen viel Daten. Wenn Sie diese Technologie in einer ganzen Flotte von Tools einsetzen, müssen Sie sicherstellen, dass Ihr Netzwerk damit umgehen kann. Wenn die Datenübertragung verzögert wird, verzögert sich auch der PID-Zyklus. In der Herstellung von hochentwickelten Bauelementen ist eine Millisekunde Verzögerung einfach unverzeihlich.