Auf der Fertigungsstraße reicht bereits eine Temperaturdifferenz von 0,1 °C auf der Wafer-Oberfläche aus, um die Kontrolle über die Linienbreite zu stören. Der Fotolack während des Weich- und Hartbrennens kümmert sich nicht um die Absichten – entweder wird das thermische Gleichgewicht erreicht oder es bleibt alles dem Zufall überlassen. Und der Zufall zeigt sich schnell in Form von Restlösungsmitteln, Ablagerungen oder anderen Problemen. Das führt wiederum dazu, dass die Wafer als Ausschuss enden.
Was technisch wichtig ist
Wir haben den Trockner für Wafer so konstruiert, dass eine Temperaturregelmäßigkeit von ±0,1 °C auf der Wafer-Oberfläche gewährleistet wird. Der Heizer arbeitet mit kurzwelligem Infrarotlicht – dadurch reagiert er schnell und lokal. Dadurch bleibt die Temperatur unter Kontrolle, ohne dass nachträglich korrigiert werden muss. In Reinräumen der Klasse 1–100 ist die Geometrie des Raums sowie die Luftzirkulation so gestaltet, dass Turbulenzen vermieden werden und keine Partikel entstehen. Durch die geschlossene Regelungsschleife mit kalibrierten Sensoren wird sichergestellt, dass jedes Mal das gleiche thermische Profil erreicht wird.
Warum das in der Lithografie funktioniert
In der Lithografie ist der Trockner kein zusätzlicher Schritt – er ist vielmehr Teil des gesamten Prozesses. Eine gute Temperaturregelmäßigkeit sorgt dafür, dass die Dicke des Fotolacks konstant bleibt und die Entfernung der Lösungsmittel gleichmäßig erfolgt. Dadurch wird die Kontrolle über die kritischen Abmessungen verbessert und der Bedarf an Nacharbeiten verringert. Die kompatibilität mit Reinräumen sowie die Vermeidung von Partikeln schützen sowohl das Reticle als auch die Waferoberfläche – dadurch bleibt die Defektdichte niedrig. Das Ergebnis sind weniger Störungen, vorhersehbare Produktionszeiten und eine stabile Ausbeute. Durch eine schnelle Erhitzung sowie minimale Wartezeiten sinkt außerdem der Energieverbrauch.
Was man beachten sollte
Der Trockner ist für eine 24/7-Nutzung ausgelegt – doch er benötigt trotzdem saubere, trockene Betriebsbedingungen sowie eine stabile Stromversorgung, damit die Regelungsschleife fehlerfrei funktioniert. Planen Sie bereits im Voraus den Zugang zum Gerät sowie die Anordnung der Entlüftungsanlagen. Die Anbindung an eine bestehende Leitungsanlage ist einfach möglich – doch man sollte für jede Art von Fotolack das thermische Profil neu prüfen. Verschiedene Materialien reagieren unterschiedlich, selbst wenn die Temperatur innerhalb der Toleranzen liegt.