Im Lithografiebereich sorgen Polyimidenschichten dafür, dass die komplexen Verbindungen zwischen den verschiedenen Komponenten zusammenbleiben. Ein Temperaturaussetzer während des Trocknungsprozesses kann dazu führen, dass alles zerstört wird. Wir haben unser eigenes Heizsystem entwickelt, um dieses Risiko zu beseitigen.
Was wichtig ist:
Wir halten eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C auf der Waferoberfläche während des gesamten Trocknungsprozesses aufrecht – vom Anfang bis zum Ende der Trocknung. Kurzwellige Infrarotstrahlen heizen die Wafer selbst, nicht den Raum dahinter. Dadurch bleibt die Anzahl der Partikel in der Reinraumumgebung unter 0,1 pro Kubikfuß bei einer Klasse von 1–100. Die Wiederholgenauigkeit beträgt ±0,5 °C – dadurch ist jede Trocknungsphase genauso erfolgreich wie die vorherige.
Die mit Kohlenstofffasern verstärkten Heizplatten ermöglichen ein schnelles Erwärmen ohne Hot-Spots. Zudem wird jeder Zyklus erfasst, damit eine vollständige Nachverfolgbarkeit möglich ist.
Warum das in der Praxis funktioniert:
Bei der Trocknung von Polyimid muss man das Gleichgewicht zwischen thermischen Bedingungen und chemischer Stabilität finden. Unser Steuerungssystem hält die Temperatur im optimalen Bereich – es kommt weder zu unvollständiger Trocknung, noch zu übermäßiger Trocknung, was wiederum zu Gasentwicklungen führen könnte. Das Ergebnis sind weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss sowie eine reibungslose Produktion rund um die Uhr.
Der Energieverbrauch sinkt, da das System schnell abkühlt und wieder erhitzt werden kann. Dadurch wird der Energieverbrauch reduziert, ohne dass die Prozesszeit beeinträchtigt wird.
Was Sie planen müssen:
Die Anlage lässt sich in bestehende Belichtungs- und Transportanlagen integrieren. Allerdings benötigen Sie eine eigene 208-Volt-, dreiphasige Stromversorgung sowie eine Anbindung an das Lüftungssystem der Reinraumumgebung. Planen Sie vier Stunden für die Inbetriebnahme sowie einen ganzen Tag für die Schulung des Personals ein.
Die Heizplatten sollten während des Umstellvorgangs keinen mechanischen Schaden erleiden. Befolgen Sie daher die vorgegebenen Anleitungen. Wenn ein Befestigungselement zu stark angezogen wird, kann dies die Temperaturgleichmäßigkeit um 0,2 °C verändern.