In der Fertigung wird die Leistung des Fotorezysts während des Trocknungsprozesses in Nanometern gemessen – und nicht durch subjektive Beurteilungen. Eine Abweichung von einem halben Grad bei der Weich- oder Harttrocknung kann zu Ungenauigkeiten in den kritischen Dimensionen führen. Zudem können Partikel dazu führen, dass viele Wafer beschädigt werden. Der Filament in dem Lampenmodul ist nicht einfach nur ein Verbrauchsmaterial – er dient als thermischer Anker für den gesamten Trocknungsprozess.
Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln Ersatzfilamente für die Lampen in der Fertigung, damit eine stabile, wiederholbare Strahlungstemperatur unter den Bedingungen der Lithografie erreicht werden kann. Die Geometrie des Filaments wird so gewählt, dass die Homogenität der Temperatur auf Wafernebene bei ±0,1°C liegt. Wir wählen auch die Materialien sowie die Qualität der Verbindungen sorgfältig aus, um Ausgasungen zu vermeiden und das Entstehen von Partikeln zu reduzieren. Dadurch bleibt die Waferqualität in den Bereichen Cleanroom-Class 1–100 gewährleistet. Die Leistung des Filaments wird auf das erforderliche Spektrum und die Leistungsdichte abgestimmt. Zudem werden Spannung und Anschlusskompatibilität entsprechend den Anforderungen des Geräts gewählt. Das Ergebnis ist eine konstante Temperatur – von Batch zu Batch, von Schicht zu Schicht.
Warum das in der Produktion funktioniert:
Im Betrieb ist es wichtig, dass die Maschinen ständig einsatzbereit sind und reproduzierbare Ergebnisse liefern. Das Filament sorgt dafür, dass die erforderliche Strahlungstemperatur erreicht wird – ohne Hotspots oder Abweichungen von Batch zu Batch. Dadurch wird die Menge an beschädigten Wafern verringert. Der Energieverbrauch wird auf die Zieltemperatur optimiert, wodurch die Betriebskosten pro Wafer sinken. Ebenso wichtig ist, dass das Design das Kontamination Risiko minimiert – die Anzahl der Partikel bleibt konstant und die Ertragsrate stabil.
Was Sie wissen müssen:
Die Installation muss gemäß der Kalibrierungsanleitung des Geräts erfolgen. Der Austausch des Filaments verändert das thermische Feld – daher ist nach der Installation eine Temperaturmessung sowie eine Korrektur der Emittivität notwendig, um wieder die geforderten Werte zu erreichen. Achten Sie darauf, dass die genaue Lampennummer sowie die Anschlussart übereinstimmen – andernfalls kann es zu Leistungsabweichungen kommen. Planen Sie den Austausch des Filaments während der vorgesehenen Wartungszeiten, um unplanmäßige Stillstände zu vermeiden.