Wenn man MEMS-Sensorwafer nach der chemischen Reinigung trocknen lässt, ist viel Wärme erforderlich. Doch das Problem ist: Wenn man das direkt neben brennbaren Lösungsmitteln macht, läuft man Gefahr, eine Explosion auszulösen. Das ist eine äußerst riskante Situation.
Deshalb verwenden wir spezielle Infrarotlampen. Sie sind eigens für solche Umgebungen entwickelt worden, sodass die Arbeit ohne Unfälle erledigt werden kann.
Sicherheit durch Versiegelung
Die meisten Infrarotlampen haben offene elektrische Kontakte. In einer Fertigungsstätte führt das zu Funkenbildung. Wir tun das nicht. Stattdessen umhüllen wir die Heizelemente mit Quarz oder chemisch widerstandsfähigem Glas. Zudem verwenden wir hochwertige Dichtstoffe sowie versiegelte Anschlüsse. Dadurch bleiben die schädlichen Chemikalien von den aktiven Kontakten fern. So wird verhindert, dass die Kabel durch korrosive Gase beschädigt werden. Es ist eine große Erleichterung, dass man die Kabel nicht alle paar Monate ersetzen muss.
Die richtige Wärmeabgabe
Diese Lampen nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung, um die Wafer schnell zu trocknen. Das geht wirklich schnell. Wir justieren sorgfältig die Leistung, damit die Lösungsmittel schnell verdampfen, aber der Wafersubstrat nicht überhitzt. So entsteht eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der gesamten Oberfläche. Allerdings sollten Sie bedenken, dass hohe Leistungen viel Wärme abgeben. Stellen Sie sicher, dass Ihre Lüftungssysteme geeignet sind – sonst wird das Gehäuse zu heiß.
Zuverlässigkeit in der Praxis
Wir produzieren diese Lampen für einen 24/7-Betrieb in Fertigungsstätten. Jede Versiegelung wird gegen gängige Reinigungsmittel getestet, damit keine Lecks entstehen und die Versiegelung im Laufe der Zeit nicht nachlässt. Durch die versiegelten Anschlüsse müssen Sie sich keine Sorgen um Eindringen von Dämpfen machen und können sich voll und ganz auf die Produktion konzentrieren. Für uns ist die Integrität der Versiegelung das Wichtigste. Hohe Leistung nützt nichts, wenn die Lampe zu einem Risiko wird.
Es gibt zwar einen Kompromiss: Aufgrund der Schutzschicht brauchen diese Lampen etwas länger, um warm zu werden. Aber ehrlich gesagt: In einem Raum voller brennbarer Chemikalien ist das ein Preis, den ich jederzeit zahlen würde. Das ist die einzige Möglichkeit, die Anlage sicher zu halten.