Warum die Vakuum-Infrarot-Heizung für die Halbfertigproduktion vorteilhaft ist
Seien wir ehrlich: Traditionelle Trocknungsverfahren sind äußerst umständlich. Mit den sperrigen Konvektionsöfen sowie den schädlichen chemischen Lösungsmitteln wirkt der gesamte Prozess veraltet. Deshalb wenden wir zunehmend Infrarot-Technologie an. Sie ist sauberer, schneller – und entspricht außerdem den „grünen“ Standards, nach denen wir alle streben.
Wie es in einem Vakuum funktioniert
Im Vakuumraum gibt es kein Luftvolumen. Und ohne Luft kann keine Konvektion stattfinden. Man kann also nicht einfach den Raum erhizen, um die Teile zu trocknen. Stattdessen nutzen wir strahlende Wärme. Unsere Lampen bestehen aus hochreinem Quarz sowie speziellen Filamenten, die Kurzwellenstrahlung abgeben. Diese Energie wird nicht in die Wandungen des Behälters investiert, sondern direkt in das Substrat. Dadurch verkürzt sich die Trocknungszeit erheblich – von Stunden auf nur wenige Minuten.
Vermeidung von schädlichen Stoffen
Lange Zeit war die einzige Möglichkeit, Materialien zu schmelzen oder zu härten, ohne dass das Silizium beschädigt wird, die Verwendung von bleihaltigen Flussmitteln oder VOCs. Niemand möchte damit arbeiten. Mit Infrarot-Technologie kann man die genau richtige Temperatur erreichen – ohne dass die empfindlichen Bauteile beschädigt werden. Zudem entstehen durch elektrische Energie und Photonen keine Verbrennungsprodukte. Kein CO2, keine NOx – einfach ein sauberer Prozess, der perfekt in eine Reinraumumgebung passt.
Potenzielle Probleme – und wie man sie löst
Natürlich ist das nicht ganz einfach. Hochleistungs-Infrarotlampen erzeugen viel Wärme – wenn man keine geeigneten Kühlsysteme verwendet, kann das zu Problemen führen. Überhitzte Dichtungen führen zu Vakuumverlusten, was wiederum zu kontaminierten Produkten führt. Um das zu vermeiden, verwenden wir in der Regel PID-Controller sowie pyrometrische Geräte mit schneller Reaktionszeit. Dadurch bleibt die Temperatur unter Kontrolle, und die Dichtungen bleiben intakt. Der Aufwand lohnt sich: Man braucht weniger Platz und muss nicht mehr für die Beheizung von Luft bezahlen. Dadurch wirkt der gesamte Herstellungsprozess viel moderner.