Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man Halbleiterwafern erhitzt, ist die Temperaturregelung nur die halbe Miete. In einem Reinraum der Klasse 100 reicht bereits ein winziger Staubkorn aus, um eine ganze Charge an Chips zu ruinieren. Das ist ein Albtraum. Deshalb haben wir die Heizgeräte mit Metallhüllen durch Hochreinquarzlampen ersetzt – diese zerfallen nicht so leicht und geben auch weniger Gase ab.
Warum Quarz?
Wir verwenden synthetisches Fused Silica, denn dieses Material hält besser stand. Normales Glas beginnt bei hohen Temperaturen zu zerfallen oder lässt Unreinheiten durchsickern – doch dieses Material bleibt stabil. Die Infrarotstrahlung kann problemlos durch das Quarz gehen, ohne die Umgebungsluft zu beeinträchtigen.
Einrichtung in der Anlage
Wir haben alle Teile von diesen Lampen entfernt, die möglicherweise abplatzen oder zerfallen könnten. Ziel war es, eine minimale Abmessung zu erreichen und gleichzeitig keine Belastungen durch Staubpartikel zu verursachen. Wir haben sogar hochwertige Quarzsiegel verwendet, damit nichts vom inneren Halogenkreislauf nach außen dringt.
Achtung bei der Stromstärke
Diese Lampen werden in einem sehr kleinen Raum extrem heiß. Wenn man die Leistung erhöht, ohne eine geeignete Kühlung zu verwenden, entstehen Probleme. Wenn der Temperaturunterschied zwischen dem heißen Zentrum und den kalten Polen zu groß wird, kann das Quarz aufgrund von thermischen Schocks verbrennen.
Nutzung der Lampen
Diese Lampen sind eine große Hilfe bei der Erhitzung von Bauteilen – schließlich können herkömmliche Widerstandsheizungen hier nicht mithalten. Da es keinen physischen Kontakt gibt, muss man sich keine Sorgen um Kratzer oder Abnutzung der Bauteile machen.
Einfache Einrichtung
Die Installation ist einfach: Man schließt die Lampen einfach an den PID-Controller an – und schon ist alles bereit. Man merkt schnell, dass die Zeit bis zur Erreichung der gewünschten Temperatur sehr kurz ist. Zudem bleiben die Temperaturprofile konstant.
Ein letzter Tipp: Achten Sie auf Ihre Stromversorgung. Stellen Sie sicher, dass sie stabil ist. Ein plötzlicher Spannungssprung kann den Filament in einer Hochreinquarzlampe viel schneller zerstören als in einer billigen Industrielampe.