Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie die Probleme dazu. Schon ein winziger Staubkorn oder ein einzelner Metallstückchen kann alles zerstören. Bei der Erwärmung von Halbleitern ist meist das Heizelement der Ursprung des Problems. Es handelt sich dabei oft um die größte Quelle für Verunreinigungen in der gesamten Anlage.
Wir haben eine Lösung gefunden, um das zu verhindern. Indem wir hochreinen Quarz-Infrarotlampen mit speziellen Teflon-Leitungen kombinieren, können wir das Austreten von Gasen sowie das Entstehen von Verunreinigungen effektiv verhindern.
Warum Quarz wichtig ist
Wir verwenden keinen Standardquarz – er ist einfach nicht rein genug. Bei hohen Temperaturen können billige Quarze Unreinheiten freisetzen. Wenn diese Unreinheiten auf die Wafer gelangen, entsteht viel verschwendeter Material.
Stattdessen verwenden wir synthetischen, hochreinen Quarz. Diese Lampen nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung – das ist vorteilhaft, denn die Energie gelangt direkt ins Substrat. Dadurch erwärmt sich die Luft um die Lampe nicht, sodass der Reinraum bei einer konstanten, angenehmen Temperatur bleibt.
Die Leitungen
Bei den Leitungen gilt: PVC oder Silikon eignen sich in Hochtemperaturbereichen einfach nicht. Sobald sie ihre Grenzen erreichen, beginnen sie, flüchtige organische Verbindungen abzugeben. Das ist natürlich nicht gewünscht in einem Vakuumraum.
Deshalb verwenden wir PTFE-Isolierungen. PTFE ist chemisch inert – es schmilzt nicht, es bröckelt nicht und es wird auch durch die hohe Temperatur des Quarzrohrs nicht beeinträchtigt. So entsteht eine zuverlässige elektrische Verbindung, die stabil und sauber bleibt.
Ein paar Dinge, die man bedenken sollte
Nichts ist perfekt – es gibt immer Kompromisse. PTFE ist etwas steifer als Silikon. Man kann es nicht einfach in eine enge Ecke biegen, sonst wird die Leitung beschädigt. Man muss den Kabeln also etwas mehr Spielraum geben – einen größeren Biegeradius.
Außerdem erzeugen diese Lampen sehr viel Wärme. Deshalb muss man die Kühlvorrichtungen richtig einrichten. Wenn die Enden der Lampen zu heiß werden, können die Dichtungen versagen. Es spielt keine Rolle, wie gut die Leitungen sind, wenn die Dichtungen versagen.
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie als einfache Ersatzteile für Ihre aktuellen Heizelemente verwendet werden können. Wir haben uns zunächst auf die Reinheit konzentriert – schließlich ist das in Ihrem Bereich das Wichtigste.