Kimyasal temizlik işleminin ardından MEMS sensörleri kurutulurken yüksek sıcaklığa ihtiyaç vardır. Ancak buradaki sorun şu: Bunu yanıcı çözücülerin...

Neden fabrikalarda kızılötesi ısıtma, sıcak hava ısıtmasından daha iyidir? Waferleri kurutma konusunu ele alalım. Eski sistemlerde genellikle sıcak...

Giriş Bu toptan wafer kurutma lambasını, ABD ve Japon üreticilerle rekabet edebilecek şekilde tasarladık; aynı performansı sunuyor, ancak daha düşük...

Üretim sürecinde, lamba amperi düştüğü için kurutma cihazları çalışamaz hale gelir ve 300 mm’lik wafların yüzeyinde su izleri görülür. Yumuşak...

Üretim alanlarında, son yıkama işleminden çıkan waferlerde en ufak bir su izi bile kabul edilemez. Konvektif fırınlar, yüzeydeki sıcaklık farklarını...