Wafer işleme için neden kızılötesi kullanılır
İşlem sırasında her şeyi canlı olarak görebilirsiniz. Yumuşak pişirme işlemi sırasında sıcaklık 2°C kadar artar ve fotoresist profili hemen değişir....
Wafelerin kurutulmasında kızılötesi yöntemi ile konveksiyon yöntemi
Üretim alanlarında, son yıkama işleminden çıkan waferlerde en ufak bir su izi bile kabul edilemez. Konvektif fırınlar, yüzeydeki sıcaklık farklarını...