
Neden fabrikalarda kızılötesi ısıtma, sıcak hava ısıtmasından daha iyidir?
Waferleri kurutma konusunu ele alalım. Eski sistemlerde genellikle sıcak hava dolaşımı kullanılır. Havanın ısındırılmasıyla waferler de ısınır ve beklenir. Bu süreç oldukça yavaştır.
Yüksek basınçlı yarı iletken ortamlarında bu bekleyiş zaman kaybına neden olur. Waferler kurutma odasında öylece durur ve üzerlerindeki nem devam eder; üretim süreci ise yavaşlar. Bu da büyük bir zaman kaybıdır.
Hızlı çözüm: Kızılötesi ısıtma
Kızılötesi ısıtma farklı bir şekilde çalışır. Isının havayla taşınmasına bağlı kalmak yerine, kızılötesi ışınlar doğrudan yüzeye gönderilir. Bunu, soğuk bir günde güneşin altında durmak gibi düşünebilirsiniz. Etraftaki hava donmuş olsa bile hemen ısınırsınız. Bu, radyant ısıdır. Bir odayı ısıtmak için vantilatörlere ihtiyaç yoktur; doğrudan yüzey moleküllerine etki edilir. Bu yöntem çok hızlıdır. Ve bu da iş akışınız için her şeyi değiştirir.
Alan tasarrufu ve verimlilik artışı
Kızılötesi ısıtma kullanıldığında alan ihtiyacı azalır. Sıcak hava fırınları oldukça büyüktür ve sıcaklığı sabit tutmak için çok fazla hava ve kanal gereklidir. Kızılötesi lambalar ise farklıdır. Onları belirli bir düzende yerleştirebilirsiniz. Temiz oda alanını genişletmek zorunda kalmadan daha yüksek verim elde edebilirsiniz. Dönüş süreleri dakikalardan saniyelere düşmüştür.
Eksileri
Ancak kızılötesi ısıtma her şey için mucizevi bir çözüm değildir. Çok güçlüdür… bazen aşırı derecede güçlü olabilir. Yüksek yoğunluktaki lambalar çok küçük bir alanda çok fazla ısı üretir. Eğer waferler düzgün bir şekilde yerleştirilmezse, silisyum üzerinde sıcak noktalar veya termal stres oluşur. Sıcak hava bu durumu tolere edebilir; ancak kızılötesi ısıtma bunu yapamaz. PID kontrol cihazları ve mesafe sensörleriyle hassas ayarlamalar yapmanız gerekiyor; aksi takdirde yüzey zarar görebilir.
Geçiş yapmak
Eğer fabrikanızı güncellemek istiyorsanız, kızılötesi ısıtma en iyi seçenektir. Isıtma elemanlarını değiştirerek karmaşık hava akış mantığını ortadan kaldırabilirsiniz. Ayrıca, odanın tüm alanını ısıtmak için enerji harcamaktan da kurtulursunuz. Sadece gerçekten ihtiyaç duyulan bölgeyi ısıtırsınız. Basit.