Litografide, poliimid katmanları, gelişmiş bağlantı elemanlarını bir arada tutan yapılar olup, bu katmanlar olmadan tüm sistem işlevini yitirir. Sert fırınlamada meydana gelen küçük bir sıcaklık değişikliği bile tüm sistemi bozabilir. Bu riskleri ortadan kaldırmak için özel bir poliimid sertleştirme termal sistemi geliştirdik.
Önemli olan hususlar
Tüm fırınlama süreci boyunca waferin sıcaklığı ±0,1°C civarında sabit tutulur. Kısa dalga dalga kızılötesi elementler waferi ısıtır; böylece sınıf 1–100 olan temiz odalarda her metreküp başına 0,1’den az parça bulunur. Tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C civarındadır; böylece her fotoresist fırınlaması aynı sonucu verir. Karbon fiber destekli ısıtıcı plakalar hızlı bir şekilde ısınır ve sıcak noktalar oluşmaz. Ayrıca sistem her döngüyü kaydeder ki bu da tam izlenebilirlik sağlar.
Neden pratikte işe yarıyor?
Poliimidin sertleştirilmesi, termal denge ile kimyasal stabilite arasındaki dengenin sağlanmasıyla ilgilidir. Sistemimiz, fırınlama sürecini poliimidin uyumlu olduğu sıcaklık aralığında tutar; bu sayede aşırı sertleşme sonucu oluşabilecek sorunlar engellenir. Bunun sonucunda daha az yeniden işlem gerekiyor, daha az atık oluşuyor ve 7/24 çalışan tesislerde iş akışı sorunsuz devam ediyor. Enerji tüketimi ise sistemin hızlı bir şekilde soğuması ve ısınması sayesinde azalır; böylece döngü süresi değişmeden enerji masrafları düşer.
Planlamanız gerekenler
Bu sistem mevcut kaplama/taşıma hatlarına kolayca entegre edilebilir; ancak özel bir 208 V, 3 fazlı güç beslemesi ve temiz oda standartlarına uygun bir havalandırma sistemi gereklidir. Devreye alım için dört saat, operatör eğitimi için ise bir gün ayrılmalıdır. Isıtıcı plakalar, değiştirme işlemi sırasında mekanik şoklara dayanamaz; bu yüzden talimattaki basınç sırasına uymak gerekir. Bir vidanın aşırı sıkılması, sıcaklık dengesini 0,2°C kadar değiştirebilir.