Yarı iletken üretim tesislerindeki ısı sorunlarıyla başa çıkma
Eğer daha önce yarı iletken üretim tesislerinde yüksek yoğunluklu kızılötesi lambaların yanında çalıştıysanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Bu lambalar işini yapar, ancak aslında minyatür güneşler gibidirler. Bir plan olmadan, bu ısı her yere yayılır.
Kısa süre içinde ekipmanların iç duvarları aşırı ısınır. Bu bir kabus gibi bir durumdur; çünkü sadece operatörler yanmakla kalmaz, aynı zamanda hassas elektronik bileşenler de zarar görür.
Çözüm: Kuvars cam
İşleri kontrol altına almak için yüksek saflıkta kuvars cam kullanırız. Kuvarsın avantajı, ısıya karşı dayanıklı olması ve doğru kızılötesi dalga boylarının geçmesine izin vermesidir. Ayrıca, makinenin fırına dönüşmesine neden olan ısıyı engeller.
Bunu bir termal bariyer olarak düşünebilirsiniz. Lamba ile duvar arasına kuvars cam yerleştirerek, ısıya “kendi alanınızda kalın” mesajı vermiş olursunuz. Enerji, waferin üzerine tam da gereken yere ulaşır; ancak lambanın etrafındaki hava kontrol altında kalır.
Her şey kontrolle ilgilidir. Bu tür koruyucular kullanılarak “fırın etkisi” engellenir. Soğutma fanlarının, makinenin dış kısmının yanmasını önlemek için %100 kapasitede çalışmasına gerek kalmaz. Böylece makine daha soğuk ve sessiz çalışır.
Ancak bir dezavantaj var…
Hiçbir şey mükemmel değildir. Sıcaklık dalgalanmalarına karşı dayanıklı olduğu için kuvars tercih edilir; ancak temizlik konusunda biraz seçicidir. Eğer camın üzerinde toz veya organik maddeler birikirse, bu maddeler kızılötesi enerjiyi emer. Bu da “sıcak noktalar” oluşmasına neden olur ve böylece koruyucu cam çatlar. Ayrıca, yansıma yoluyla da bir miktar ısı kaybı olur. Bu büyük bir sorun değil, ancak işlem sıcaklığının istenen seviyede kalması için lambanın gücünü biraz artırmanız gerekebilir.