문제가 발생했을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
고부하가 걸리는 공장에서는 램프의 고장이 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아닙니다. 만약 석영관이 파손된다면, 유리 조각과 화학 물질들이 실리콘 위로 떨어지게 되죠. 이는 생산 효율에 엄청난 타격을 줍니다.
우리는 “최악의 상황”이 실제로 문제를 야기하지 않도록 IR 경화 램프를 설계합니다.
파손을 막는 방법
우리는 파손을 막기 위해 내충격성 소재나 내부 코팅을 사용합니다. 마치 안전망과 같은 역할을 하는 것입니다. 만약 램프가 열충격이나 갑작스러운 전압 변동으로 인해 균열이 생긴다 해도, 이 코팅 덕분에 모든 것이 그대로 유지됩니다.
그렇게 되면 클린룸 안이 어지럽혀지는 것을 막을 수 있으며, 처리도 훨씬 용이해집니다.
열 문제 해결
높은 와트수로 작동할 때는 열이 급격히 상승합니다. 우리는 고순도 석영을 사용하여 램프가 조기에 손상되는 것을 방지합니다. 하지만 램프 주변의 부품들도 함께 견딜 수 있어야 합니다.
만약 공기 흐름이 막히면, 램프의 끝부분이 과열되어 밀봉层이 파괴될 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 강화된 엔드캡을 사용합니다. 이를 통해 전압이 최대한으로 상승해도 램프가 안전하게 유지됩니다.
전기적 문제
불안정한 연결부도 치명적인 문제가 됩니다. 이로 인해 아크가 발생하여 작은 열점이 생기고, 결국 램프가 파손됩니다.
우리는 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 단단한 연결은 램프의 안정성을 보장하기 때문입니다.
한 가지 팁: 전원 공급 장치가 안정적인지 확인하세요. 아무리 좋은 코팅이라도 큰 전압 변동으로부터 램프를 보호할 수는 없습니다. 우리는 이러한 램프들을 튼튼하게 만들었지만, 그래도 안정적인 전기 환경이 필요합니다.