Mantenere una sala pulita di Classe 100 effettivamente pulita
Quando si riscaldano le wafer dei semiconduttori, il controllo della temperatura è solo metà della soluzione. In un ambiente di Classe 100, basta una sola piccolissima particella di polvere per rovinare l’intera produzione di chip. È un vero incubo. Ecco perché abbiamo abbandonato i riscaldatori rivestiti di metallo: essi tendono a sgretolarsi e a emettere troppi gas. Abbiamo quindi optato per lampade a infrarossi in quarzo ad alta purezza.
Perché il quarzo?
Utilizziamo silice sintetica fusa, poiché è più resistente. Il vetro tradizionale inizia a deteriorarsi o a perdere impurità quando viene riscaldato, mentre il quarzo rimane stabile. I raggi infrarossi passano attraverso il quarzo senza influenzare l’aria circostante.
È una soluzione efficace: il calore viene trasmesso direttamente al substrato, senza che vi siano particelle in sospensione o impurità che possano danneggiare la wafer. Solo calore puro.
Come installarle
Abbiamo rimossuto da queste lampade tutto ciò che potesse causare problemi, come pezzi che potessero staccarsi o sgretolarsi. L’obiettivo era ottenere un dispositivo con dimensioni ridotte e senza alcuna fonte di inquinamento. Abbiamo anche utilizzato sigilli in quarzo di alta qualità per assicurarci che nulla proveniente dal ciclo di funzionamento interno potesse fuoriuscire.
Tuttavia, bisogna fare attenzione alla densità di potenza utilizzata. Queste lampade diventano estremamente calde in uno spazio molto ridotto. Se si aumenta la potenza senza un sistema di raffreddamento adeguato, si rischiano problemi. Se la differenza di temperatura tra il centro caldo e i terminali freddi diventa troppo grande, il quarzo può rompersi a causa dello shock termico.
Come farle funzionare
Queste lampade sono davvero utili per le operazioni di trattamento termico, dove i tradizionali riscaldatori resistentivi non sono sufficienti. Poiché non c’è contatto fisico, non c’è rischio che le parti vengano graffiate o deteriorate.
L’installazione è semplice: basta collegarle al controllore PID. Si noterà che i tempi di riscaldamento sono molto rapidi, e i profili termici rimangono stabili.
Un ultimo consiglio: controllate sempre la tensione di alimentazione. Assicuratevi che sia stabile. Un improvviso aumento di tensione può distruggere il filamento all’interno delle lampade ad alta purezza molto più velocemente rispetto a quanto accadrebbe con una lampada industriale economica.