Come mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se gestite una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene le problematiche legate alla pulizia. Anche un singolo granello di polvere o uno sbaffo metallico possono rovinare tutto. Per quanto riguarda il riscaldamento nei semiconduttori, di solito è l’elettrodo di riscaldamento ad essere la causa dei problemi; spesso rappresenta la principale fonte di contaminazione nell’intera struttura.
Abbiamo trovato un modo per evitare questo problema: utilizzando lampade a infrarossi in quarzo ad alta purezza, abbinate a cavi in Teflon (PTFE), siamo riusciti a eliminare completamente i problemi legati all’emissione di gas e alle particelle metalliche.
Perché il quarzo è importante
Non utilizziamo il quarzo standard: non è abbastanza puro. A temperature elevate, il quarzo di qualità inferiore può rilasciare impurità, e se queste finiscono sui wafer, si ottiene materiale sprecato. Invece, utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza. Queste lampade emettono radiazioni a onde corte, il che è vantaggioso, poiché l’energia viene trasmessa direttamente al substrato senza riscaldare l’aria circostante. In questo modo, la sala pulita rimane a una temperatura costante e confortevole.
I cavi: perché sono importanti
I cavi in PVC o silicone non sono adatti per zone ad alta temperatura. Una volta raggiunto il loro limite, iniziano a rilasciare composti organici volatili (VOC). Non è certo qualcosa che si voglia avere in una camera a vuoto. Per questo motivo utilizziamo cavi rivestiti in PTFE. Il PTFE è chimicamente inerte: non si fonde, non si frantuma, e non risente dell’intenso calore emesso dal tubo di quarzo. In questo modo si ottiene una connessione elettrica affidabile e pulita.
Alcune cose da tenere a mente
Niente è perfetto… ci sono dei compromessi da accettare. Il PTFE è un po’ più rigido del silicone: non si può piegarlo facilmente, altrimenti il cavo potrebbe danneggiarsi. È necessario lasciare uno spazio sufficiente tra i cavi, affinché possano piegarsi senza problemi. Inoltre, poiché queste lampade producono molto calore, è fondamentale progettare correttamente i sistemi di raffreddamento. Se le estremità delle lampade diventano troppo calde, i sigilli potrebbero rompersi. Non ha senso utilizzare cavi di alta qualità se i sigilli non funzionano. Abbiamo progettato questi dispositivi come sostituti semplici per i vostri attuali riscaldatori. Abbiamo dato priorità alla purezza, perché nel mondo dei semiconduttori è proprio questa l’aspetto più importante.