Kontrola teploty v továrně na polovodiče pomocí infračerveného záření
Pokud provozujete továrnu na polovodiče, určitě víte, že teplo je vším. Ale s tím, jak se blížíme k takzvaným „chytrým továrnám“, starý způsob fungování – spoléhání se na tradiční odporové zahřívání – už prostě nestačí.
Nejde o to následovat trendy, ale o data.
Proč infračervené záření opravdu funguje
V digitálních linkách si nemůžete dovolit čekat. Potřebujete zdroj tepla, který začne působit okamžitě, jakmile mu to přikážete. Právě tam přicházejí na řadu infračervené lampy. Místo plýtvání časem na zahřívání vzduchu kolem waferů posílají infračervené lampy teplo přímo na cíl. Tyto systémy umožňují rychlé zahřívání i chlazení. To znamená, že váš PLC může s velkou přesností nastavit teplotu. Už žádné problémy s tepelným zpožděním, které je charakteristické pro staré pece.
Podrobnosti o hardwaru
Pro tyto lampy používáme keramické obaly vysoké čistoty. Proč? Protože poslední věc, kterou chcete, je, aby k vašim waferům dostala cizí látky. Vynakládáme hodně času na ladění výkonu a napětí. Chceme, aby teplo dopadalo na povrch waferů rovnoměrně, pokaždé.
Jedna rada: věnujte pozornost konektorům. Používáme speciální rozhraní, protože uvolněný kontakt při vysokém proudu může způsobit katastrofu – dojde k vzniku výbojů a lampy se předčasně vyhoří.
Také sledujte chlazení celého zařízení. Tyto lampy vydávají obrovské množství tepla. Pokud se vzduch kolem lampy příliš zahřeje, zkrátíte životnost vláken. Udržujte prostředí chladné a lampy budou fungovat déle.
Spojení s daty
V moderní továrně musí každá součást poskytovat informace. Infračervené systémy skvěle fungují s kontrolery typu PID a pyrometry. Můžete sledovat spotřebu energie v reálném čase a vidět, jak to ovlivňuje výnos waferů. Všechno je vidět na obrazovce.
Kromě toho zabírají infračervené lampy mnohem méně prostoru. Jelikož je zóna zahřívání menší, můžete do čisté místnosti zařadit více procesních kroků, aniž byste měli pocit stísnění.
Dostanete více waferů do továrny, a když potřebujete něco upravit, uděláte to prostřednictvím softwaru. Už žádné ruční úpravy hardwaru. Je to prostě jednodušší.