Udržení vaší čisté místnosti třídy 100 skutečně čistou
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, znáte pravidla. Jediný drobný zrnko prachu nebo jediná kovová skvrnka může všechno zkazit. Pokud jde o ohřev polovodičů, problémy obvykle začínají právě u samotného ohřevového prvku. Často se jedná o největší zdroj kontaminace v celém systému.
Našli jsme způsob, jak tomu zabránit. Kombinací vysoce čistých kvartových infračervených lamp s specializovanými kabely z PTFE v podstatě odstraníme problémy spojené s uvolňováním plynů a úlomků.
Proč je důležitý kvarts
Nepoužíváme běžný kvarts – ten prostě není dostatečně čistý. Při vysokých teplotách může levný kvarts uvolňovat nečistoty, a pokud tyto nečistoty dopadnou na vaše čipy, znamená to velké plýtvání materiálem.
Místo toho používáme syntetický kvarts vysoce čistoty. Tyto lampy využívají krátkovlnné infračervené záření, což je skvělé, protože energie proniká přímo do substrátu. Nezahřívá tedy vzduch kolem něj, takže vaše čistá místnost zůstává v stabilní a příjemné teplotě.
Problémy spojené s kabely
Kabely v oblastech s vysokými teplotami prostě neodolají. Jakmile dosáhnou svého limitu, začnou uvolňovat těkavé organické sloučeniny. To rozhodně není to, co chcete v vakuumové komoře.
Proto používáme kabely z PTFE. Je to chemicky inertní materiál – neroztéká se, neulpívají na něm žádné úlomky a nevadí mu intenzivní teplo vycházející z kvartové trubice. Díky tomu máte spolehlivé elektrické spojení, které zůstává čisté.
Několik věcí, které je potřeba mít na paměti
Nic není dokonalé. Existují určité kompromisy.
PTFE je o něco tvrdší než silikon. Nemůžete ho prostě ohnout do úzkého úhlu – jinak byste napínali kabel. Budete muset zajistit kabelům trochu více prostoru – větší poloměr ohnutí.
Kromě toho, protože tyto lampy vydávají hodně tepla, musíte správně nastavit systém chlazení. Pokud se konce lampy příliš zahřejí, mohou selhat uzávěry. Na kvalitě kabelů nezáleží, pokud selžou uzávěry.
Navrhli jsme tyto lampy tak, aby nahradily vaše současné ohřevové prvky. Zaměřili jsme se především na čistotu – v vašem prostředí je to totiž to nejdůležitější.