Giữ cho môi trường làm việc ở cấp độ Class 100 luôn sạch sẽ
Khi nung nóng các wafer bán dẫn, việc kiểm soát nhiệt độ chỉ là một phần trong công việc. Trong môi trường Class 100, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể phá hủy toàn bộ lô chip được sản xuất. Đó quả là một tình huống khủng khiếp. Vì vậy, chúng tôi đã từ bỏ việc sử dụng các bộ sưởi bằng kim loại – vì chúng dễ bị vỡ và giải phóng ra quá nhiều khí độc – và thay thế chúng bằng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao chọn thạch anh?
Chúng tôi sử dụng silic tổng hợp vì chất liệu này có khả năng chịu nhiệt tốt hơn. Thủy tinh thông thường sẽ bị vỡ hoặc giải phóng tạp chất khi bị nung nóng, nhưng thạch anh vẫn giữ được tính ổn định. Bức xạ hồng ngoại có thể đi qua thạch anh mà không làm ảnh hưởng đến không khí xung quanh.
Đây là phương pháp làm nóng hiệu quả: nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer, mà không có bất kỳ hạt bụi hay chất gì lơ lửng trong không khí. Chỉ có nhiệt mà thôi.
Cách lắp đặt
Chúng tôi loại bỏ mọi thứ có thể gây hư hại cho các bóng đèn này. Mục tiêu là tạo ra một thiết bị có kích thước nhỏ nhất và không gây ô nhiễm. Chúng tôi còn sử dụng các miếng đệm thạch anh chất lượng cao để đảm bảo rằng không có chất gì từ bên trong bóng đèn thoát ra ngoài.
Nhưng có một điều cần lưu ý: bạn phải chú ý đến mật độ công suất của bóng đèn. Những bóng đèn này có thể nóng lên rất nhanh trong một không gian nhỏ. Nếu bạn tăng công suất mà không có hệ thống làm mát phù hợp, bạn sẽ gặp rắc rối. Nếu khoảng cách nhiệt giữa phần trung tâm nóng và các đầu terminal lạnh quá lớn, thạch anh có thể bị vỡ do lực nhiệt.
Lợi ích của việc sử dụng bóng đèn này
Những bóng đèn này rất hữu ích trong các quy trình nung nóng, vì chúng có thể thay thế các bộ sưởi truyền thống. Vì không có sự tiếp xúc vật lý, bạn không cần lo lắng về việc các bộ phận bị trầy xước. Việc lắp đặt cũng rất đơn giản: chỉ cần kết nối chúng với bộ điều khiển PID là được. Bạn sẽ thấy rằng thời gian nung nóng diễn ra rất nhanh, và nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ.
Một lưu ý cuối cùng: hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Hãy đảm bảo rằng nguồn điện ổn định. Sự thay đổi đột ngột về điện áp có thể làm hỏng sợi dây tóc trong bóng đèn một cách nhanh chóng.