Kiểm soát nhiệt độ trong nhà máy chế tạo bán dẫn bằng công nghệ hồng ngoại UHP
Nếu bạn đang vận hành một nhà máy chế tạo bán dẫn, bạn chắc hẳn đã biết rằng nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất. Nhưng khi chúng ta tiến tới việc xây dựng những nhà máy “ thông minh”, cách làm việc truyền thống – tức là sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng điện trở – không còn phù hợp nữa.
Điều này không liên quan đến việc theo đuổi xu hướng, mà là dựa trên dữ liệu.
Tại sao công nghệ hồng ngoại lại hiệu quả?
Trong môi trường sản xuất kỹ thuật số, bạn không thể chấp nhận việc chờ đợi. Bạn cần một nguồn nhiệt có thể phản ứng ngay lập tức khi được yêu cầu. Đó chính là vai trò của các bóng đèn hồng ngoại. Thay vì lãng phí thời gian để làm nóng không khí xung quanh wafer, hồng ngoại giúp truyền nhiệt trực tiếp vào bề mặt wafer. Chúng tôi thiết kế các hệ thống này để có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách nhanh chóng.
Điều này có nghĩa là PLC của bạn có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác. Không còn phải đối mặt với tình trạng chậm trễ trong việc điều chỉnh nhiệt độ như ở các lò nung truyền thống nữa.
Chi tiết về thiết bị
Chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn này. Tại sao ư? Bởi vì điều cuối cùng mà chúng ta muốn là sự nhiễm bẩn từ kim loại lên wafer.
Chúng tôi dành nhiều thời gian để điều chỉnh công suất và điện áp. Chúng tôi muốn nhiệt độ được truyền đều lên bề mặt wafer mỗi lần sử dụng.
Một mẹo nhỏ: Hãy chú ý đến các kết nối. Chúng tôi sử dụng các giao diện chuyên dụng vì việc kết nối lỏng lẻo trong môi trường có dòng điện cao có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng – các bóng đèn sẽ nhanh chóng hỏng.
Ngoài ra, hãy chú ý đến việc làm mát thân máy. Các bóng đèn này tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu không khí xung quanh bóng đèn quá nóng, tuổi thọ của chúng sẽ bị rút ngắn. Hãy giữ cho không khí xung quanh mát mẻ để bóng đèn hoạt động tốt hơn.
Sử dụng công nghệ hồng ngoại cùng dữ liệu
Trong một nhà máy hiện đại, mọi bộ phận đều cần phải cung cấp thông tin cho bạn. Các hệ thống hồng ngoại hoạt động tốt cùng với các bộ điều khiển PID và các thiết bị đo nhiệt độ. Bạn có thể theo dõi mức tiêu thụ năng lượng theo thời gian thực và biết chính xác tác động của nó đến chất lượng wafer. Mọi thứ đều được hiển thị trên màn hình.
Ngoài ra, công nghệ hồng ngoại chiếm ít không gian hơn. Vì vậy, bạn có thể tích hợp nhiều bước xử lý vào phòng sạch mà không cảm thấy chật chội.
Bạn sẽ có thể xử lý nhiều wafer hơn, và khi cần điều chỉnh gì đó, bạn chỉ cần làm điều đó thông qua phần mềm. Không cần phải can thiệp vào các thiết bị vật lý nữa. Điều này giúp việc vận hành trở nên đơn giản hơn.