Bảo vệ các linh kiện quý giá của bạn mà không làm mất đi khả năng gia nhiệt
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch dùng để sản xuất chất bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ tình hình ở đó. Trong phòng sạch này, có nhiều bước công đoạn làm sạch bằng các chất hóa học dễ cháy. Đây là môi trường nguy hiểm. Việc sử dụng đèn hồng ngoại thông thường trong những khu vực này chính là cách gây ra thảm họa. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc bề mặt nóng chạm vào hơi hóa chất, thì mọi thứ sẽ trở nên tồi tệ.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn. Thay vì chỉ sử dụng bóng đèn thông thường, chúng tôi đặt toàn bộ bộ phận đèn vào một vỏ bọc chuyên dụng, được thiết kế để chống chịu được tác động của các chất hóa học.
Cách chúng tôi giữ cho bộ phận đèn được an toàn
Chúng tôi không chỉ bọc bóng đèn bằng nhựa thôi; cách đó sẽ không hiệu quả. Chúng tôi sử dụng lớp bảo vệ gồm hai lớp. Bộ phận gia nhiệt bằng thạch anh được đặt bên trong một lớp vỏ bảo vệ chắc chắn, có khả năng chống chịu được các chất hóa học mạnh.
Bí quyết thực sự nằm ở các đầu nối của bộ phận đèn. Chúng tôi sử dụng các miếng đệm chịu nhiệt cao để đảm bảo mọi thứ được đóng kín hoàn toàn. Điều này giúp ngăn các chất hóa học xâm nhập vào các đầu nối điện. Bằng cách tách bộ phận gia nhiệt ra khỏi không khí xung quanh, chúng tôi loại bỏ nguy cơ cháy nổ. Như vậy, bạn có thể yên tâm hơn.
Xử lý vấn đề về nhiệt độ
An toàn là điều quan trọng, nhưng bộ phận đèn vẫn cần phải có khả năng gia nhiệt cho các tấm wafer.
Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại sóng ngắn để năng lượng có thể truyền thẳng qua lớp hóa chất hoặc bề mặt wafer. Nhưng vấn đề là loại năng lượng này sẽ gây áp lực lớn lên các lớp bảo vệ. Chúng tôi chọn loại miếng đệm có khả năng chịu được việc gia nhiệt và làm lạnh liên tục mà không bị nứt. Nếu lớp bảo vệ bị hỏng, bộ phận đèn sẽ bị hư hỏng. Vì vậy, bạn cần kiểm tra các lớp đệm này mỗi lần tiến hành bảo trì. Không thể lơ là việc này được. Hãy kiểm tra chúng để đảm bảo chúng vẫn đóng kín, sau đó mới tiếp tục sử dụng.
Lắp đặt chúng vào hệ thống của bạn
Tin tốt là những bộ phận đèn này được thiết kế để có thể thay thế một cách dễ dàng. Bạn không cần phải tái thiết toàn bộ hệ thống. Chúng tôi sử dụng dây dẫn chống nổ và các đầu nối chắc chắn để đảm bảo không xảy ra hiện tượng phóng điện.
Một điều cần lưu ý là lớp bảo vệ dày này sẽ hơi ảnh hưởng đến hiệu suất phát nhiệt của đèn. Bạn có thể nhận thấy hiệu suất phát nhiệt giảm xuống một chút. Để khắc phục điều này, bạn có thể di chuyển đèn lại gần hơn một chút hoặc tăng công suất của đèn lên để đảm bảo thời gian gia nhiệt vẫn ở mức cần thiết. Đó là một sự đánh đổi nhỏ. Bạn sẽ mất đi một chút công suất, nhưng bạn sẽ có được sự yên tâm rằng nhà máy của mình không phải là một “quả bom nổ chậm”.