Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp làm khô bằng tia hồng ngoại trong môi trường sạch
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, “môi trường sạch” không chỉ là mục tiêu, mà còn là yếu tố quan trọng nhất. Không thể để có bất kỳ hạt bụi hay chất cặn nào làm hỏng các tấm wafer.
Trong thời gian dài, người ta thường sử dụng lò sấy thông thường. Nhưng vấn đề là loại lò này chỉ đơn giản là thổi không khí nóng vào bên trong. Không khí này chứa nhiều hạt bụi, và lượng điện năng cần thiết để duy trì nhiệt độ cao trong chiếc lò kim loại khổng lồ này thật sự rất lớn.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng bộ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng không khí, tia hồng ngoại trực tiếp truyền năng lượng vào vật liệu cần xử lý.
Cách thức hoạt động
Hãy tưởng tượng bạn đang đứng dưới ánh nắng mặt trời vào một ngày lạnh. Bạn không cảm thấy không khí trở nên ấm lên trước; bạn cảm nhận được hơi nóng trực tiếp trên da mình. Đó chính là cách mà tia hồng ngoại hoạt động. Tia hồng ngoại tác động lên vật liệu, khiến các phân tử trong vật liệu rung động, từ đó tạo ra nhiệt.
Quá trình này diễn ra rất nhanh. Thật sự rất nhanh.
Vì chúng tôi không cần phải thổi không khí nóng lên bề mặt wafer, nên chúng tôi không cần lo lắng quá nhiều về vấn đề nhiễm bẩn. Hơn nữa, phương pháp này cũng ít gây hại cho môi trường hơn. Chúng tôi đã từ bỏ các hệ thống sử dụng nhiên liệu truyền thống, vốn thải ra nhiều chất độc hại, giúp giảm bớt gánh nặng trong các cuộc kiểm tra môi trường.
Những khó khăn khi sử dụng phương pháp này
Chúng tôi thường sử dụng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn hoặc trung bình. Nếu bạn cần làm khô các chất phủ trên wafer trong vài giây, thì đèn bước sóng ngắn là lựa chọn tốt nhất vì nó có khả năng làm nóng nhanh.
Nhưng bạn cần phải cẩn thận. Nếu bạn tăng công suất đèn một cách tùy tiện, bạn sẽ gặp phải tình trạng “điểm nóng”, hoặc tệ hơn nữa, làm hỏng vật liệu cần xử lý. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng bộ điều khiển PID và các cảm biến chính xác để duy trì nhiệt độ ổn định, tránh làm hỏng các bộ phận quý giá.
Lợi ích cho doanh nghiệp
Điều tốt nhất là chi phí điện năng. Bạn không còn phải lãng phí năng lượng để làm ấm không khí trong lò nữa; thay vào đó, năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả, trực tiếp trên vật liệu cần xử lý.
Đây là cách thay thế đơn giản cho các hệ thống sấy thông thường. Bạn tiết kiệm được diện tích sử dụng, chi phí năng lượng giảm down, và bạn cũng tuân thủ các quy tắc của chuỗi cung ứng toàn cầu mà không cần phải suy nghĩ quá nhiều.