파편 발생을 막아라: 웨이퍼 가공 과정에서의 진공관 폭발 문제 해결하기
고부하가 걸리는 공장에서는 진공관이 폭발하는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 생산 중단이라는 문제뿐만 아니라, 깨진 유리 조각들과 화학 물질들이 웨이퍼 표면에 흩어져 버립니다. 이는 감당할 수 없는 재앙입니다.
바로 이러한 이유로 우리는 금 반사체를 사용한 IR 램프를 만드는 것입니다.
왜 금이 중요한가?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 알루미늄은 에너지를 너무 많이 흡수합니다. 그래서 우리는 고순도 금 코팅을 사용했습니다.
왜냐하면 금은 IR 열을 효과적으로 반사할 수 있기 때문입니다. 금은 열을 웨이퍼 쪽으로 전달하여 램프의 외부 부분이 손상되는 것을 방지합니다. 램프의 외부 부분이 서늘하게 유지된다면, 진공관도 열충격으로 인한 손상을 덜 받게 됩니다. 그래서 램프의 수명도 더 길어집니다.
폭발을 막는 방법
일반적으로 진공관이 폭발하는 이유는 열이 고르지 않거나, 진공관의 접합부가 파손되기 때문입니다.
이를 해결하기 위해 우리는 두꺼운 벽의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 할로겐 사이클로 인한 내부 압력을 견딜 수 있습니다. 또한, 접합부도 급격한 온도 변화에도 깨지지 않도록 설계되어 있습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 전압이 너무 높으면 진공관이 일찍 파손될 수 있습니다. 그래서 항상 정밀한 PID 컨트롤러를 함께 사용하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 진공관이 폭발하는 것을 방지할 수 있습니다.
오염을 막는 방법
아무리 좋은 장비를 사용해도 문제가 생길 수 있습니다. 웨이퍼에 이물질이 달라붙지 않도록, 우리는 램프를 보호 장치 안에 넣습니다.
금 반사체는 열을 반사하는 역할을 할 뿐만 아니라, 보호벽 역할도 합니다. 만약 진공관이 파손된다 해도, 보호 장치가 그 파편들을 가두어서 웨이퍼에 달라붙는 것을 막습니다.
마지막으로, 냉각 팬을 깨끗하게 관리하세요. 공기 흐름이 줄어들면 램프 내부에 열이 쌓여 금 코팅이 손상될 수 있습니다. 공기 흐름을 유지하고 온도를 안정적으로 유지한다면, 웨이퍼의 품질도 그대로 유지될 것입니다.