클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 웨이퍼를 가열할 때 온도 조절이 전부는 아닙니다. 클래스 100급 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 칩들이 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 금속으로 된 히터를 사용하지 않고, 대신 고순도의 석영 인광등을 사용합니다.
왜 석영인가?
우리는 합성된 융합 규소를 사용하는데, 이 재료는 훨씬 더 오랫동안 안정적으로 작동하기 때문입니다. 일반 유리는 열이 가해지면 쉽게 파괴되거나 불순물이 스며들지만, 석영은 그런 문제가 없습니다. 적외선은 석영을 통과하면서 주변 공기에는 영향을 주지 않습니다.
따라서 순수한 열만이 웨이퍼에 전달됩니다. 입자나 불순물이 웨이퍼에 닿는 일도 없습니다. 오직 열만이 전달됩니다.
설치 방법
우리는 이 램프들에서 벗겨질 수 있는 모든 부분을 제거했습니다. 목표는 오염이 전혀 없는 작은 크기의 램프를 만드는 것이었습니다. 심지어 내부의 할로겐 회로에서 나오는 물질이 밖으로 새어나가지 않도록 고급 석영 씰을 사용했습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 조절해야 합니다. 이 램프들은 매우 작은 공간에서 엄청난 열을 발생시킵니다. 적절한 냉각 시스템이 없다면 문제가 생길 수 있습니다. 뜨거운 중앙 부분과 차가운 단자 사이의 온도 차이가 너무 크면 석영이 열충격으로 인해 부서질 수도 있습니다.
효과적으로 사용하는 방법
이 램프들은 기존의 저항식 히터로는 처리할 수 없는 열처리 공정에 매우 유용합니다. 물리적인 접촉이 없으므로 부품이 손상될 걱정도 없습니다. 설치도 간단합니다. PID 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 온도 상승 속도도 매우 빠르며, 온도 조절도 정확합니다.
마지막 팁: 전원 공급 장치를 잘 확인하세요. 안정적인 전압을 공급해야 합니다. 갑작스러운 전압 변동은 저가형 산업용 램프보다 훨씬 빠르게 램프의 필라멘트를 손상시킬 수 있습니다.