ウェーハ処理装置で正確な熱画像を得る方法
よりスマートなファブを実現したいと考えているなら、従来の接触型温度計ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。それらは反応が遅く、正直なところ、ウェーハに触れるのは避けた方が良いリスクです。
そのため、私たちは高速な赤外線センサーを採用しています。これにより、ウェーハの表面に触れることなく、リアルタイムで熱分布を把握できます。汚染もなく、機械的なストレスもかからず、クリーンなデータが得られます。
推測するのをやめて、直接確認しましょう
デジタル製造では、データの流れが重要です。私たちは赤外線センサーをPLCやSCADAシステムに直接接続し、熱放射をすぐにデジタル信号に変換します。
最も素晴らしい点は、ついに実際のウェーハ表面を直接見ることができるということです。サーモカップルを使う場合、受け皿やチャンバーの壁の温度に基づいて推測するしかありません。しかし今では、直接目で確認できます。300mmのウェーハ表面に何かがある場合、すぐにわかり、即座に加熱要素を調整できます。
「窓」の問題に対処する
真空チャンバーは過酷な環境です。最も厄介なのは「窓効果」です。つまり、石英やサファイア製の観察窓が赤外線信号を遮断してしまうのです。
これは面倒ですが、解決策があります。センサーを特定の波長帯に設定することで、これらの材料を通過させることができます。
ただし、光路を清潔に保つことが大切です。もしガスが窓に付着してしまうと、測定値が不正確になります。これは簡単に解決できますが、完璧な製造とウェーハの無駄遣いを防ぐためには重要です。
償却のバランス
利点としては、巨大なプローブを使わずに済み、チャンバー内のスペースを有効活用できる点です。しかし、高解像度の赤外線センサーは大量のデータを生成します。
もし複数の装置でこの技術を利用する場合、ネットワークインフラがそれに対応できるか確認する必要があります。データの処理に遅延があると、PID制御も遅れてしまいます。先端の半導体製造では、1ミリ秒の遅延も許されません。