ウェーハの硬化処理において、重要なのは正確な温度管理です。しかし実際には、反射板やランプの組み立てを行う際には、単に表面が光っているかどうかだけでは不十分です。私たちは、高電圧をかけるランプと接地された筐体との間の電気的な隙間にも細心の注意を払います。
なぜ高電圧耐性試験を重視するのか？
ここでは「サンプル検査」などは行いません。すべてのランプ管は、工場を出る前に必ず完全な高電圧耐性試験と絶縁抵抗試験を受けます。 つまり、加熱要素と筐体の間に漏れがないかを確認するために、高電圧を用いて耐久試験を行っているのです。 なぜでしょうか？石英に微細な亀裂が生じたり、エンドキャップの密封が不十分だったりすると、大惨事につながります。そうなってしまうと、コントローラーが破損したり、さらに悪いことに、電流がウェーハキャリアに流れ込んでしまう可能性があります。誰もそんな事態は望みません。
暑さへの対処
これらの高ワット数のランプは過酷な環境で動作します。熱くなったり、冷えたり、膨張したり、収縮したりします。時間が経つにつれて、このような繰り返しの動きによって絶縁体が損傷してしまうことがあります。 そのため、工場で厳格な検査を行うことで、装置が壊れる危険がないようにしています。 ただし、私たちのランプ管は頑丈ですが、現場の不良な配線を修復することはできません。もし機械の接地が不十分だと、ランプの絶縁性能がどんなに優れていても、電気的なノイズや安全停止の問題が発生してしまいます。
「初日にトラブルが起きない」
この厳格なテストの最大の利点は、「初期不良を防げる」ということです。 新しいランプ管を導入しても、初日から故障することはありません。常に正常に動作するので、硬化処理の工程がスムーズに進みます。つまり、予期せぬ停電に対処する必要がないのです。私たちが電気的な問題を解決してくれるので、あなたはウェーハの処理に集中できます。