Menggunakan Sistem Pemindaian Termal yang Berkualitas dalam Alat-alat Pembuatan Wafer
Jika Anda ingin menciptakan pabrik yang lebih canggih, Anda pasti menyadari bahwa termometer konvensional sudah tidak lagi efektif digunakan. Termometer tersebut bekerja lambat, dan sebenarnya, menyentuh permukaan wafer merupakan risiko yang tidak perlu diambil.
Itulah mengapa kami beralih ke sistem inframerah berkecepatan tinggi. Dengan sistem ini, kita dapat memperoleh data suhu secara real-time, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer. Tidak ada kontaminasi, tidak ada tekanan mekanis—hanya data yang akurat.
Berhenti menebak, mulailah melihat langsung
Produksi digital didasarkan pada aliran data. Kita dapat menghubungkan sensor inframerah langsung ke sistem PLC atau SCADA, sehingga radiasi panas dapat diubah menjadi sinyal digital secara instan.
Yang terbaik dari sistem ini adalah Anda dapat melihat permukaan wafer secara langsung. Dengan termokopel, Anda seringkali hanya bisa menebak berdasarkan suhu permukaan susceptor atau dinding ruang. Sekarang, Anda dapat melihatnya secara langsung. Jika ada sesuatu yang bergerak di permukaan wafer sebesar 300 mm tersebut, Anda akan segera mengetahuinya dan dapat menyesuaikan pengaturan suhu secara cepat.
Mengatasi masalah “jendela”
Ruang vakum merupakan lingkungan yang keras. Masalah utamanya adalah “efek jendela”—di mana port penglihatan berbahan kuarsa atau safir menghalangi sinyal inframerah.
Ini sangat merepotkan, tetapi kami telah menemukan cara untuk mengatasinya. Kami menyetel sensor agar dapat mengirim sinyal pada panjang gelombang tertentu yang dapat melewati bahan-bahan tersebut.
Perlu diingat: pastikan jalur optik tetap bersih. Jika ada endapan gas yang menumpuk di permukaan jendela, pembacaan suhu akan menjadi tidak akurat. Ini merupakan masalah sederhana, tetapi hal ini sangat penting untuk mendapatkan hasil produksi yang berkualitas.
Keseimbangan antara keuntungan dan kerugian
Keuntungannya sangat besar bagi desain alat pembuatan wafer. Anda dapat menghilangkan alat pengukur yang berukuran besar, sehingga ruang di dalam ruang vakum menjadi lebih efisien. Namun, ada juga kerugiannya. Sensor inframerah beresolusi tinggi menghasilkan banyak sekali data.
Jika Anda ingin menggunakan sistem ini pada banyak alat sekaligus, pastikan jaringan komputer Anda mampu menangani volume data yang besar tersebut. Jika ada keterlambatan dalam pengiriman data, maka proses produksi pun akan terhambat. Dalam proses manufaktur node canggih, keterlambatan sekecil milidetik saja sudah merupakan hal yang tidak boleh terjadi.