Lorsque l’on sèche les wafer des capteurs MEMS après un nettoyage chimique, il est nécessaire d’utiliser une chaleur importante. Mais voici le problème : faire cela à côté de solvants inflammables, c’est en quelque sorte inviter à une explosion. C’est une situation très stressante.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges spécialisées. Elles sont conçues spécifiquement pour ces zones volatiles, afin que l’on puisse effectuer le travail sans provoquer accidentellement une catastrophe.
Maintien hermétique du système La plupart des lampes infrarouges possèdent des contacts électriques exposés. Dans une usine de fabrication, cela peut entraîner des étincelles. Nous évitons cela. Au lieu de cela, nous enveloppons nos éléments chauffants dans du quartz ou du verre résistant aux produits chimiques.
Nous utilisons également des composants de collage de haute qualité et des connecteurs scellés. Cela permet d’éloigner ces vapeurs chimiques nocives des terminaux électriques. Cela empêche aussi les dommages causés par les vapeurs corrosives qui détruisent les fils électriques. C’est un grand soulagement de ne pas avoir à remplacer les câbles tous les quelques mois.
Contrôle de la chaleur Ces lampes utilisent des radiations infrarouges à courte longueur d’onde pour sécher rapidement les wafer. C’est très rapide.
Nous ajustons avec soin la puissance de la lampe afin que les solvants s’évaporent rapidement, sans que le substrat du wafer ne surchauffe. On obtient ainsi une chaleur uniforme sur toute la surface du wafer. Attention tout de même : les lampes à haute puissance génèrent beaucoup de chaleur ambiante. Il faut donc s’assurer que le système de ventilation fonctionne correctement, sinon l’enveloppe de la lampe risque de devenir trop chaude.
Fiabilité en conditions réelles Nous concevons ces lampes pour fonctionner 24/7 dans un environnement industriel intense. Chaque joint est testé pour s’assurer qu’il ne fuit pas ni ne se détériore avec le temps.
Lorsque ces lampes sont installées, leur interface scellée permet d’éviter les problèmes liés aux vapeurs chimiques. On peut donc se concentrer sur l’efficacité du processus de production. Pour nous, l’intégrité du système de scellage est essentielle. Une grande puissance n’a aucun sens si la lampe devient un danger.
Il y a bien sûr un compromis : en raison de cet enveloppe protectrice, ces lampes mettent un peu plus de temps à se réchauffer que les lampes classiques. Mais honnêtement ? Dans une pièce remplie de produits chimiques inflammables, c’est un sacrifice que je suis prêt à faire à chaque fois. C’est la seule façon de garantir la sécurité du site.