Comment utiliser correctement les systèmes d’imagerie thermique dans vos outils de fabrication de wafers
Si vous cherchez à moderniser votre usine de fabrication de semi-conducteurs, vous avez probablement réalisé que les thermomètres traditionnels ne suffisent plus. Ils sont lents. Et, honnêtement, toucher le wafer représente un risque inutile.
C’est pourquoi nous avons opté pour des systèmes infrarouges à haute vitesse. Nous pouvons obtenir des cartes thermiques en temps réel, sans avoir à toucher la surface du wafer. Pas de contamination, pas de stress mécanique : seulement des données précises.
Arrêtez de deviner, commencez à voir
La production numérique repose entièrement sur les données. Nous connectons directement les capteurs infrarouges à votre système PLC ou SCADA, transformant ainsi les rayonnements thermiques en signaux numériques en temps réel.
Le meilleur aspect ? Vous pouvez enfin voir la surface réelle du wafer. Avec les thermocouples, on se contente souvent de deviner en se basant sur la température du support ou des parois de la chambre. Maintenant, vous avez une vue directe. Si quelque chose se déplace sur cette surface de 300 mm, vous le saurez immédiatement et pourrez ajuster les éléments chauffants en temps réel.
Gérer le problème des “fenêtres”
Les chambres à vide sont des environnements difficiles. Le plus gros problème est généralement l’effet lié aux fenêtres en quartz ou en saphir, qui bloquent les signaux infrarouges.
C’est frustrant, mais nous avons trouvé une solution. Nous calibrons nos capteurs pour qu’ils fonctionnent dans des plages de longueurs d’onde qui permettent de passer à travers ces matériaux.
Un conseil : assurez-vous que le chemin optique reste propre. Si des résidus s’accumulent sur les fenêtres, vos lectures deviendront imprécises. C’est une solution simple, mais elle fait toute la différence entre une production parfaite et des wafer gaspillés.
Les avantages et les inconvénients
Les avantages sont importants pour la conception de vos outils. Vous pouvez abandonner ces sondes encombrantes et gagner ainsi de l’espace dans la chambre de fabrication. Mais il y a un inconvénient : les capteurs infrarouges à haute résolution génèrent beaucoup de données. Si vous utilisez ces capteurs dans toute votre flotte d’outils, assurez-vous que votre réseau puisse gérer ce volume de données. Si les données sont retardées, votre système de contrôle PID sera également retardé. Or, dans la fabrication de semi-conducteurs de pointe, un millième de seconde de retard est un luxe que vous ne pouvez pas vous permettre.