Dans la salle de lithographie, ce sont les couches de polyimide qui permettent de maintenir ensemble les composants électroniques complexes. Un petit changement de température pendant le processus de durcissement peut entraîner des dégâts importants. Nous avons conçu notre système de chauffage spécialement pour éviter ce risque.
Ce qui est important Nous parvenons à maintenir une uniformité thermique de ±0,1 °C sur l’ensemble de la surface de la pâte photorésistive, du début jusqu’à la fin du processus de durcissement. Les éléments à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde chauffent la pâte photorésistive elle-même, et non la chambre elle-même. Ainsi, le nombre de particules présentes dans la salle propre reste inférieur à 0,1 par pied cube, conformément aux normes de classe 1–100. La répétabilité est de ±0,5 °C d’un cycle à l’autre, ce qui garantit que chaque cycle de traitement donne les mêmes résultats.
Les plaques de chauffage renforcées en fibre de carbone chauffent rapidement, sans créer de points chauds. De plus, le système enregistre chaque cycle afin de garantir une traçabilité complète.
Pourquoi ça fonctionne bien en pratique Le durcissement du polyimide nécessite un équilibre entre les exigences thermiques et la stabilité chimique. Notre système permet de maintenir le processus de durcissement dans les limites appropriées : aucun défaut de durcissement qui pourrait provoquer des problèmes lors de l’etchage, ni excès de durcissement qui pourrait entraîner des dégazages. Le résultat ? Moins de retouches, moins de déchets, et un fonctionnement continu 24/7.
L’utilisation d’énergie est réduite, car le système peut se mettre en veille rapidement, ce qui diminue les coûts énergétiques sans affecter le temps de traitement.
Ce qu’il faut prévoir Ce système peut être intégré aux lignes de traitement existantes, mais il nécessite une alimentation électrique dédiée de 208 V à 3 phases, ainsi qu’un système d’évacuation adapté aux conditions de salle propre. Prévoyez quatre heures pour les tests de mise en service et une journée entière pour former les opérateurs.
Les plaques de chauffage ne supportent pas les chocs mécaniques lors des changements de paramètres. Il est donc important de suivre rigoureusement les instructions fournies dans le manuel. Un boulon trop serré peut entraîner une variation de l’uniformité thermique de 0,2 °C.