Comment maintenir une salle propres de classe 100 vraiment propre
Lorsque l’on chauffe des wafer de semi-conducteurs, le contrôle de la température n’est qu’une partie du problème. Dans un environnement de classe 100, une seule poussière suffit pour gâcher toute une série de puces. C’est un cauchemar. C’est pourquoi nous avons abandonné les chauffages en métal : ils se détériorent facilement et émettent trop de gaz. Nous avons donc opté pour des lampes infrarouges en quartz à haute pureté.
Pourquoi le quartz ?
Nous utilisons de la silice synthétique fusionnée, car elle résiste mieux aux conditions extrêmes. Le verre ordinaire commence à se dégrader ou à libérer des impuretés dès que la température augmente, mais ce matériau reste stable. Les rayons infrarouges passent directement à travers le quartz, sans perturber l’air autour.
C’est propre : la chaleur rayonnante atteint directement le substrat. Aucune particule en suspension, aucun débris qui pourrait endommager les wafer. Seulement de la chaleur.
Installation dans votre système
Nous avons retiré tout ce qui pourrait se détacher ou se désintégrer sur ces lampes. L’objectif était d’obtenir une surface minimale, avec zéro pollution. Nous avons même utilisé des joints en quartz de haute qualité pour éviter toute fuite provenant du cycle halogène interne.
Mais attention : il faut faire attention à la densité de puissance. Ces lampes deviennent incroyablement chaudes dans un espace très restreint. Si vous augmentez la puissance sans un système de refroidissement adéquat, vous risquez de rencontrer des problèmes. Si l’écart de température entre le centre chaud et les terminaux froids devient trop grand, le quartz peut se briser sous l’effet du choc thermique.
Fonctionnement
Ces lampes sont idéales pour les postes d’anneau et de durcissement, où les chauffages résistifs classiques ne suffisent pas. Comme il n’y a pas de contact physique, vous n’avez pas à vous soucier de rayures ou d’usure des composants.
L’installation est simple : il suffit de les connecter à votre régulateur PID. Vous remarquerez que les temps de montée en température sont très rapides, et que les profils thermiques restent précis.
Un dernier conseil : veillez à ce que la source d’alimentation soit stable. Une augmentation soudaine de la tension peut endommager rapidement le filament d’une lampe à haute pureté, contrairement à ce qui se passe avec une lampe industrielle bon marché.