Comment maintenir votre salle propres à niveau 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de niveau 100, vous connaissez bien les problèmes associés. Un simple grain de poussière ou un éclat métallique suffisent pour tout gâcher. En ce qui concerne le chauffage dans les semi-conducteurs, c’est généralement l’élément de chauffage qui pose problème. C’est souvent la principale source de contamination dans toute l’installation.
Nous avons trouvé un moyen d’y remédier. En combinant des lampes infrarouges en quartz de haute pureté avec des câbles en Teflon (PTFE), nous parvenons à éviter toute dégazation et toute formation d’éclats.
Pourquoi le quartz est important
Nous ne utilisons pas du quartz ordinaire : sa pureté n’est pas suffisante. À haute température, le quartz bon marché peut libérer des impuretés, et si celles-ci atteignent vos wafer, cela entraîne une perte importante de matériel.
Au lieu de cela, nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté. Ces lampes émettent des rayons infrarouges de courte longueur d’onde, ce qui est avantageux car l’énergie est transmise directement au substrat. L’air autour du substrat ne se réchauffe pas, ce qui permet à la salle de rester à une température constante et confortable.
Les problèmes liés aux câbles
Le problème avec les câbles, c’est que le PVC ou le silicone ne conviennent pas dans les zones à haute température. Une fois qu’ils atteignent leurs limites, ils commencent à dégager des composés organiques volatils (COV). Ce n’est certainement pas ce qu’on veut dans une chambre à vide.
C’est pourquoi nous utilisons des isolants en PTFE (Teflon). Ce matériau est chimiquement inerte : il ne fond pas, ne se fragmente pas et ne souffre pas de la chaleur émise par le tube en quartz. Vous obtenez ainsi une connexion électrique fiable et sans problèmes.
Quelques points à garder à l’esprit
Rien n’est parfait. Il y a toujours des compromis à faire. Le PTFE est un peu plus rigide que le silicone. On ne peut pas le plier trop fort, sinon cela endommagera le câble. Il faut donc laisser suffisamment d’espace entre les câbles, c’est-à-dire un rayon de courbure plus grand.
De plus, comme ces lampes génèrent beaucoup de chaleur, il est nécessaire de bien concevoir les systèmes de refroidissement. Si les extrémités de la lampe deviennent trop chaudes, les joints peuvent se détériorer. Peu importe la qualité des câbles, si les joints ne fonctionnent pas correctement.
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être utilisées en remplacement direct de vos chauffages actuels. Nous avons mis l’accent sur la pureté, car c’est ce qui compte vraiment dans ce type d’environnement.