استفاده صحیح از تصویربرداری ترمال در ابزارهای تولید ویفرها
اگر قصد دارید به سمت یک کارخانه تولید هوشمندتر حرکت کنید، احتمالاً متوجه شدهاید که دماسنجهای سنتی دیگر کافی نیستند. آنها کند عمل میکنند؛ علاوه بر این، لمس کردن سطح ویفر نیز ریسکی است که نیازی به پذیرفتن آن نیست.
به همین دلیل، ما به استفاده از سیستمهای مادون قرمز با سرعت بالا روی آوردهایم. ما میتوانیم نقشههای حرارتی را در زمان واقعی، بدون لمس سطح، به دست آوریم. هیچ آلودگی، هیچ فشار مکانیکی… فقط دادههای خالص.
دیگر حدس نزنید، بلکه مستقیماً ببینید!
تولید دیجیتال کاملاً بر پایه جریان دادهها استوار است. ما سنسورهای مادون قرمز را مستقیماً به سیستمهای PLC یا SCADA متصل میکنیم؛ در نتیجه، تابش حرارتی بلافاصله به سیگنالهای دیجیتال تبدیل میشود.
نکته خوب این است که اکنون میتوانید سطح واقعی ویفر را ببینید.
با استفاده از ترموکوپلها، اغلب فقط میتوانید بر اساس دمای سطح یا دیوارههای محفظه حدس بزنید؛ اما اکنون میتوانید مستقیماً سطح ویفر را ببینید. اگر چیزی روی سطح ۳۰۰ میلیمتری ویفر حرکت کند، بلافاصله متوجه خواهید شد و میتوانید عناصر گرمایشی خود را تنظیم کنید.
مقابله با مشکل “پنجره”
محفظههای خلأ، محیطهای بسیار سختی هستند. بزرگترین مشکل، اثر “پنجره” است؛ یعنی پورتهای مشاهده کریستالی یا سفیری، سیگنالهای مادون قرمز را مسدود میکنند.
این موضوع آزاردهنده است، اما ما راهی برای حل آن پیدا کردهایم. ما سنسورهای خود را طوری تنظیم میکنیم که در طول موجهای خاصی عمل کنند؛ در نتیجه، سیگنالهای مادون قرمز میتوانند از میان آن مواد عبور کنند.
نکته مهم: مسیر نوری سنسورها را تمیز نگه دارید. اگر باقیماندههای گازی روی پنجره تجمع کنند، اندازهگیریهای شما دچار اختلال خواهد شد. این مشکل راهحل سادهای دارد، اما تفاوت آن، بین یک فرآیند تولید بینقص و هدر رفتن ویفرهاست.
تعادل بین مزایا و معایب
مزایای استفاده از این سیستمها بسیار زیاد است؛ میتوانید از آن پروبهای بزرگ استفاده نکنید و فضای بیشتری در محفظه به دست آورید. اما یک معایب نیز وجود دارد: سنسورهای مادون قرمز با وضوح بالا، مقدار زیادی داده تولید میکنند.
اگر قصد استفاده از این سیستمها در کل فلوت تولید را دارید، مطمئن شوید که شبکه شما قادر به پردازش این مقدار داده باشد. اگر دادهها با تأخیر منتقل شوند، چرخه PID نیز با تأخیر کار خواهد کرد. و در تولید ویفرهای پیشرفته، حتی یک میلیثانیه تأخیر، چیزی است که نمیتوانید تحمل کنید.