در بخش لیتوگرافی، لایههای پلیایمید نقش مهمی در نگه داشتن اجزای مختلف در کنار یکدیگر ایفا میکنند. حتی کمترین تغییر در دما در حین فرآیند پخت، میتواند باعث از بین رفتن کل سیستم شود. ما سیستم حرارتی مخصوصی برای پخت پلیایمید طراحی کردهایم تا این ریسک را از بین ببریم.
چه چیزی اهمیت دارد؟
ما تنوع دمایی در سطح ویفر را در تمام مراحل پخت، از جمله مراحل پخت ملایم تا پخت نهایی، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم. عناصر مادون قرمز کوتاهموج، ویفر را گرم میکنند؛ بنابراین تعداد ذرات موجود در اتاق تمیز، در سطح ۰.۱ ذره در هر فوت مکعب، در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند. تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین هر بار پخت، نتیجه یکسانی خواهد داشت.
صفحات گرمایشی تقویتشده با الیاف کربن، به سرعت گرم میشوند و هیچ نقطه داغی ایجاد نمیشود. همچنین، این سیستم هر چرخه را ثبت میکند تا بتوان از آن برای ردیابی دقیق استفاده کرد.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
فرآیند پخت پلیایمید نیازمند تعادل بین موارد حرارتی و پایداری شیمیایی است. سیستم کنترل ما، دمای پخت را در محدوده مناسب نگه میدارد؛ بنابراین نه پخت ناقصی رخ میدهد که منجر به جدا شدن اجزا شود، و نه پخت بیش از حدی که باعث خروج گازها شود. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کمتر میشود، ضایعات کمتری ایجاد میشود، و فرآیند تولید به خوبی ادامه مییابد.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا سیستم در حالت استراحت نیز به خوبی خنک میشود و به سرعت گرم میشود. این امر باعث کاهش هزینههای انرژی میشود، بدون اینکه زمان فرآیند تغییر کند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
این سیستم میتواند در خطوط تولید موجود نصب شود؛ اما نیاز به منبع تغذیه ۲۰۸ ولت، سهفاز و همچنین سیستم تخلیه هوای تمیز وجود دارد. برای راهاندازی سیستم، به چهار ساعت زمان نیاز است؛ همچنین، آموزش اپراتورها نیز یک روز زمان میبرد.
صفحات گرمایشی در برابر شوکهای مکانیکی حساس هستند؛ بنابراین باید از روشهای مشخص شده در راهنما برای نصب آنها استفاده کرد. فشار بیش از حد بر یکی از قطعات، میتواند باعث تغییر تنوع دمایی به میزان ۰.۲ درجه سانتیگراد شود.