در کارخانههای تولید، وجود نقطههای داغ با دمای ۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، میتواند کنترل عرض خطوط روی ویفر را مختل کند. فوتورزیست در حین فرآیندهای گرمایشی، به قصد استفاده از آن توجهی نمیکند؛ دمای محیط یا ثابت است، یا تخمینی است. تخمینات نیز به سرعت منجر به مشکلاتی مانند وجود مواد حلال باقیمانده، تشکیل لجن، و غیره میشوند؛ در نتیجه، این مواد به عنوان فضولات از بین میروند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما دستگاه خشککن ویفر را بر اساس یک استاندارد خاص طراحی کردهایم: یکنواختی دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد. این دستگاه از نوع مادونقرمز کوتاهامواج است؛ بنابراین به سرعت و به صورت محلی واکنش نشان میدهد. دمای محیط نیز کنترل میشود و از افزایش غیرمجاز دما جلوگیری میشود. در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱–۱۰۰، مهندسی فضای اتاق و جریان هوا به گونهای طراحی شده که تلاطمات کاهش یافته و از ورود ذرات جلوگیری شود؛ بنابراین تولید ذرات در طول فرآیندهای گرمایشی و خشککردن صفر باقی میماند. قابلیت تکرارپذیری این دستگاه نیز به لطف کنترل حلقه بسته و سنسورهای دقیق، حاصل میشود؛ بنابراین هر بار، همان الگوی دمایی بر روی ویفر اعمال میشود.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است: در فرآیند لیتوگرافی، دستگاه خشککن بخش جداییناپذیری از فرآیند است؛ یکنواختی دما، ضخامت فوتورزیست را تثبیت کرده و باعث میشود حذف مواد حلال به طور یکنواخت انجام شود؛ این امر کنترل ابعاد حیاتی را بهبود بخشیده و کارهای تکراری را کاهش میدهد. ساختار دستگاه که مناسب اتاقهای پاکیزه است، و همچنین عدم تولید ذرات، از سطح ویفر و رتیکل محافظت میکند؛ بنابراین تعداد نقصها کاهش مییابد. نتیجه این امر، کاهش نوسانات دما، زمانهای پیشبینیپذیر برای انجام فرآیندها، و استحصال محصول با کیفیت پایدار است. مصرف انرژی نیز به دلیل سرعت بالای گرم شدن واحد و کاهش هدررفت انرژی، کاهش مییابد.
نکاتی که باید در نظر گرفت: این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ اما همچنان به یک منبع انرژی تمیز و خشک و ولتاژ پایدار نیاز دارد تا کنترل دما به درستی انجام شود. برای نصب دستگاه، باید از قبل مسیرهای لازم برای دسترسی و تخلیه هوا را در نظر بگیرید. اتصال دستگاه به سیستمهای موجود نیز آسان است؛ اما باید الگوی دمایی برای هر نوع فوتورزیست مجدداً ارزیابی شود؛ زیرا مواد مختلف، حتی در صورتی که دما در محدوده مجاز باشد، واکنشهای متفاوتی نشان میدهند.