
اسمارٹ فیکٹری میں IR حرارتی نظام کو درست طریقے سے استعمال کرنا
اسمارٹ فیکٹری بنانے کا مطلب صرف فرش پر روبوٹ لگانا اور اسے “انڈسٹری 4.0” قرار دینا نہیں ہے۔ دراصل اصل مسئلہ یہ ہے کہ حرارت کو کس طرح کنٹرول کیا جائے۔
اگر آپ اب بھی اپنے ویفروں کے لئے پرانے طرز کے ریزسٹیو حرارتی نظامات کا استعمال کر رہے ہیں، تو آپ اپنے کام کو غیر ضروری طور پر پیچیدہ بنا رہے ہیں۔ ہمارے خیال میں، اعلیٰ کارکردگی والے انفراریڈ (IR) نظامات ہی بہترین حل ہیں۔ کیوں؟ کیونکہ یہ نظام ویفروں کو چھوتے ہی نہیں۔ بغیر رابطے کے، کوئی آلودگی یا میکانی دباؤ پیدا نہیں ہوتا۔ یہی وہ واحد طریقہ ہے جس سے بغیر کسی مشکل کے پیداوار کو بڑھایا جا سکتا ہے۔
فاصلہ اور حرارت کا توازن
مسئلہ یہ ہے کہ آپ IR ایمیٹر کو سیدھا ویفر کے قریب نہیں رکھ سکتے۔ اگر یہ بہت قریب ہو، تو سلیکون خراب ہو سکتا ہے۔ لیکن اگر یہ بہت دور ہو، تو چیمبر کی دیواروں کو گرم کرنے کے لئے بہت زیادہ توانائی خرچ ہوگی۔ یہ ایک قسم کا توازن ہے۔ ہم بہت وقت صرف کرتے ہیں کہ ویفر کتنی حرارت برداشت کر سکتا ہے، اس کی بنیاد پر مناسب فاصلہ طے کیا جائے۔
عام طور پر ہم شارٹ ویو IR نظامات کا استعمال کرتے ہیں، کیونکہ یہ بہت تیزی سے حرارت پیدا کرتے ہیں۔ لیکن اس کا ایک نقصان یہ ہے کہ اس سے کولنگ سسٹم پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو سینسر اور وائرنگ خراب ہو سکتے ہیں۔ یہ کوئی اچھی بات نہیں ہے۔
اسمارٹ حل (بغیر پریشانی کے)
جدید فیکٹریوں میں، “ایک بار سیٹ کرکے بھول جانا” کوئی اچھا حل نہیں ہے۔ ہم ان IR نظامات کو کلوزڈ-لوپ PID کنٹرولرز اور ریئل-ٹائم پائرومیٹرز سے جوڑتے ہیں۔ اس طرح سسٹم، ویفر کی سطح پر ہونے والی تبدیلیوں کی بنیاد پر چند ملی سیکنڈوں میں ہی پاور کو ایڈجسٹ کر سکتا ہے۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ حرارتی پروفائل ایک حقیقی ڈیٹا کی شکل میں موجود ہوتا ہے۔ اگر کوئی مسئلہ پیش آئے، تو آپ کو اندازہ لگانے کی ضرورت نہیں ہے – آپ صرف تھرمل کرف کو دیکھ سکتے ہیں۔ ہم ڈیزائن کو ماڈیولر بھی رکھتے ہیں، تاکہ جب ضرورت ہو تو ایمیٹرز کو تبدیل کیا جا سکے۔ آپ کو پورے ویکیوم چیمبر کو توڑنے کی ضرورت نہیں ہے۔
تضادات
اعلیٰ واٹج کے IR ایمیٹرز سے بہت زیادہ حرارت حاصل کی جا سکتی ہے، لیکن اس کے لئے ایک بڑی قیمت ادا کرنی پڑتی ہے۔ اس سے پاور سپلائی اور کوارٹز انکلوژرز پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ آپ کو بہت مستحکم وولٹیج کی ضرورت ہے۔ اگر وولٹیج میں تھوڑی سی بھی تغیر پیدا ہو، تو ویفر پر بہت چھوٹی تبدیلیاں پیدا ہو سکتی ہیں۔ یہ چھوٹی بات لگتی ہے، لیکن اس صنعت میں چھوٹی چیزیں ہی بڑی مشکلات کا سبب بنتی ہیں۔