لائن پر، آپ اس عمل کو براہِ راست دیکھ سکتے ہیں۔ 2°C کے فرق سے درجہ حرارت میں تبدیلی واقع ہوتی ہے، اور فوٹوریزسٹ کی خصوصیات بھی تبدیل ہو جاتی ہیں۔ اس کے بعد غلطیاں شروع ہو جاتی ہیں، اور پروڈکشن کی کوالٹی متاثر ہو جاتی ہے۔ اسی لیے انفراریڈ حرارت کا استعمال مناسب نہیں ہے؛ یہ تو صرف پروسیس کنٹرول کے لئے استعمال ہوتا ہے۔
انفراریڈ حرارت کی درستگی: سب-ملی میٹر کی سطح پر یکسانیت اور دہرانے کی صلاحیت
انفراریڈ، توانائی کو براہِ راست ویفر میں پہنچاتا ہے، اور اس کے نتیجے میں حرارتی تغیرات کم رہتے ہیں۔ اس طرح ویفر کی سطح پر سب-ملی میٹر کی سطح پر یکسانیت قائم رہتی ہے، اور درجہ حرارت کو بار بار کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے عمل میں ویفر کی سطح پر یکسانیت قائم رہتی ہے، اور درجہ حرارت کی یکسانیت سے کریٹیکل ڈائمینشنز میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔ یہ سسٹم ہر بار ایک ہی حرارتی پروفائل کو دہراتا ہے… یہ دہرانے کی صلاحیت ہی معیاری دستاویزات میں بھی ظاہر ہوتی ہے۔
ویفر پروسیسنگ میں اس کی کارکردگی کیوں اچھی ہے؟
فوٹوریزسٹ کو پورے حرارتی پروفائل کی اہمیت ہے، نہ کہ صرف درجہ حرارت کی اونچائی کی۔ انفراریڈ، تیزی سے اور کنٹرول شدہ طریقے سے حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے حرارتی تاخیر کم ہو جاتی ہے، اور درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ کلین روم کے لحاظ سے بھی یہ بہترین ہے؛ یہ ڈیزائن کلاس 1-100 کے ماحول میں استعمال کے لئے مناسب ہے، اور اس کے استعمال سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اس لیے پروڈکشن کی کوالٹی متاثر نہیں ہوتی۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ حرارت کو ضرورت کے مطابق ہی فراہم کیا جاتا ہے، اور تیزی سے حرارت فراہم کرنے سے سائیکل کا وقت کم ہو جاتا ہے… اس طرح پروڈکشن کی رفتار بڑھ جاتی ہے، اور پروفائل کنٹرول برقرار رہتا ہے۔
خریدنے سے پہلے جاننے کی باتیں:
انفراریڈ، لائن آف سائٹ کے ذریعے کام کرتا ہے، اس لیے ویفر کی ساخت اور کیریئر کا ڈیزائن، یکسانیت پر اثر ڈالتا ہے۔ آپ کو چیمبر کی ساخت اور ایمیٹر کی جگہ کو ویفر کے راستے کے مطابق منتخب کرنا ہوگا۔ جب پروسیس کو انفراریڈ کے لئے ٹیون کیا جاتا ہے، تو کنٹرول بہتر ہوتا ہے… اسے ایک الگ حرارتی سبسسٹم کے طور پر ہی استعمال کرنا چاہیے۔ ایسا کرنے سے دہرانے کی صلاحیت بہتر ہو جاتی ہے، اور پروڈکشن بھی بہتر طریقے سے چلتی ہے۔