บนพื้นลิโธกราฟี สายการผลิตยังคงเคลื่อนไหวไม่ว่าคุณจะตั้งค่ารูปแบบการอบเบาได้ถูกต้องหรือไม่ การเบี่ยงเบนของการอบเบาแบบนุ่มจะแสดงให้เห็นเป็นการกระจาย CD ในขณะที่ความไม่สม่ำเสมอของการอบเบาแบบแข็งจะทำให้ความสมบูรณ์ของรูปแบบเสียหาย และชิปเวเฟอร์จะต้องจ่ายค่าทุกองศาที่การควบคุมความร้อนพลาดไป สิ่งที่เราสร้างขึ้น และทำไมมันถึงสำคัญ เราวางเครื่องทำแห้งเวเฟอร์ NIR ไว้รอบการให้ความร้อนแบบรังสีใกล้อินฟราเรด ซึ่งปรับแต่งเพื่อให้พลังงานถูกส่งตรงไปยังฟิล์มโฟโต้เรซิสต์และซับสเตรต ผลลัพธ์ก็คือความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ที่ถูกควบคุมภายใน ±0.1°C พร้อมรูปแบบอุณหภูมิที่สามารถทำซ้ำได้ระหว่างการอบเบาแบบนุ่มและแบบแข็ง สามารถทำงานในห้องสะอาด Class 1–100 โดยไม่ทำให้จำนวนอนุภาคเพิ่มขึ้น และไม่มีการปล่อยมลพิษจากอนุภาคที่จุดให้ความร้อน ความน่าเชื่อถือมีอยู่สำหรับการทำงาน 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดในหลายกะการผลิต ในโรงงานที่มีปริมาณการผลิตสูง ความเสถียรของความร้อนคือเสถียรภาพของกระบวนการ คุณจะได้การควบคุม CD ที่เข้มงวดมากขึ้น จำนวนล็อตที่ต้องทำใหม่ลดลง และประสิทธิภาพการอบที่ทำงานได้ตามปกติในแต่ละล็อต เครื่องทำแห้ง NIR ช่วยลดการใช้พลังงานความร้อนที่สูญเปล่า ลดเวลารอบการผลิต และป้องกันไม่ให้สายการผลิตสะดุดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ ไม่ว่าคุณจะกำลังทำงานในสายการบรรจุหรือต้องการขับเคลื่อนโหนดที่ก้าวหน้า สิ่งนี้จะปรากฏเป็นผลผลิตที่สูงขึ้นและการใช้เครื่องจักรที่คงที่ สิ่งที่ต้องรู้เกี่ยวกับ NIR คือมันต้องการการมองเห็นตรงไปยังเวเฟอร์และเส้นทางความร้อนที่สะอาดและสะท้อนกลับได้ การมีเงาจากชัคหรืออุปกรณ์อาจสร้างจุดเย็นในพื้นที่เฉพาะ ดังนั้นคุณต้องวางแผนการรวมเข้ากับรูปทรงซับสเตรต ความสามารถในการปล่อยความร้อน และการเชื่อมต่อของเครื่องมือ เมื่อการจัดตำแหน่งถูกต้อง คุณจะได้การอบที่ทำซ้ำได้ การบำรุงรักษาน้อยที่สุด และการใช้พลังงานที่คาดเดาได้