ในโรงงานที่ทำงาน 24/7 สายการผลิตจะไม่หยุดพักเพื่อใคร การเกิดความร้อนผิดปกติระหว่างการอบฟิล์มตัวกั้นแบตเตอรี่ไม่เพียงแต่ลดอัตราการผลิตเท่านั้น แต่ยังทำให้การยึดติดของโฟโต้เรซิสต์เสียหาย เกิดการสะสมของตัวทำละลาย และส่งผลเสียต่ออัตราผลิตได้ในกลุ่มลิโทกราฟีทั้งหมด
สิ่งที่เราออกแบบเครื่องอบนี้ให้มีคือวินัยด้านความร้อน อาร์เรย์ตัวปล่อยรังสีอินฟราเรดช่วงกลางยิงไปยังเวเฟอร์อย่างรวดเร็ว โดยไม่สัมผัส และรักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ไว้ที่ ±0.1°C เครื่องทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่สร้างฝุ่นละออง และเราตรวจสอบสิ่งนี้แบบ in-situ จุดตั้งค่าอบแบบ soft bake และ hard bake มีความสามารถในการทำซ้ำได้ดีกว่า ±0.5°C ทุกวัฏจักร—นับล้านครั้ง ผลลัพธ์คือการควบคุมงบประมาณความร้อนที่ทำให้โครงสร้างฟิล์มและความสะอาดของชั้นเชื่อมต่อยังคงสมบูรณ์
ความน่าเชื่อถือที่นี่ไม่ใช่แค่คำพูด แต่ถูกออกแบบมาอย่างเป็นระบบ เครื่องอบทำงาน 7×24 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด รองรับด้วยโมดูลตัวปล่อยรังสีแบบ hot-swap สำรอง และระบบบำรุงรักษาเชิงคาดการณ์ การควบคุมกำลังไฟแบบปิดวงจรช่วยให้การใช้พลังงานสอดคล้องกับการเพิ่มอุณหภูมิโดยไม่ลดอัตราการไต่ระดับ คุณจะได้การอบฟิล์มที่สม่ำเสมอ รูปแบบการอบที่คาดการณ์ได้ และลดปริมาณชิ้นงานเสีย—ทำให้เครื่องจักรใช้งานได้เต็มประสิทธิภาพและต้นทุนต่อเวเฟอร์ลดลง
ในด้านการติดตั้ง คุณจะต้องมีสายไฟฟ้าเฉพาะ 208–240V และระบบกำจัดไอระเหยตัวทำละลายที่ได้รับการยืนยันว่าสามารถควบคุมได้ เครื่องนี้สามารถรวมระบบกับเครื่องมือ track ปัจจุบันได้อย่างเรียบร้อย แต่ควรวางแผนเวลาทำ commissioning สั้นๆ เพื่อทำแผนที่โปรไฟล์ความร้อนให้เหมาะกับชั้นฟิล์มและระบบตัวทำละลาย ก่อนเพิ่มกำลังการผลิต ควรจัดสรรเวลา 48 ชั่วโมงสำหรับรันการทดสอบคุณสมบัติเพื่อล็อกช่วงกระบวนการไว้ให้แน่นอน