Высокоэффективный сушильный элемент для пластин
На производственной линии отклонение температуры в размере 0,1°C во время процедур мягкой или жесткой обработки не является незначительным фактором,...
Дешевая лампочка для сушки пластинок
На производстве лампы для сушки могут выходить из строя из-за износа ламповой колбы. В таких случаях на пластинах диаметром 300 мм появляются водяные...
Зачем использовать инфракрасное излучение для обработки пластин
Непосредственно в процессе обработки можно наблюдать за происходящим. Температура поверхности пластины увеличивается на 2°C, и профиль распределения...
Инфракрасное излучение против конвекции для сушки пластин
На производственном участке пластинка, только что прошедшая процедуру окончательной промывки, не может иметь даже микронного количества воды на своей...
Сушитель пластин с равномерным нагревом
На производственном участке достаточно небольшого перепада температуры в размере 0,1°C на поверхности пластины, чтобы нарушить контроль за шириной...
Лампа для нагрева ваферов высокого качества
На производственном полу все происходит так: изменение температуры на 1°C во время процедуры нагрева может привести к изменению критических размеров...
Отверждение полиимида в производстве кристаллических пластин
В цехе литографии именно слои полиимида обеспечивают стабильность связей между различными компонентами устройства. Даже небольшое изменение...
Близкоинфракрасная (БИК) сушилка для пластин
На литографическом этаже линия продолжает работать независимо от того, точно ли настроен ваш профиль запекания или нет. Дрейф мягкого запекания...
Лампа нагревателя для удаления влаги с пластины
На производственном участке влага на поверхности пластин не остается незамеченной. Она искажает профиль фоторезиста, нарушает критические размеры и...