На литографическом этаже линия продолжает работать независимо от того, точно ли настроен ваш профиль запекания или нет. Дрейф мягкого запекания проявляется в разбросе CD. Неоднородность жёсткого запекания нарушает целостность рисунка, и подложка в конечном итоге «платит» за каждый градус, на который не попадает температурный контроль.
Что мы разработали и почему это важно
Мы создали сушилку для подложек с ИК-обогревом, которая использует инфракрасное излучение в ближнем ИК-диапазоне, настроенное на прямое нагревание фоторезиста и подложки. Результатом стала стабильность температуры на уровне подложки с разбросом не более ±0,1°C, с воспроизводимым температурным профилем как для мягкого, так и для жёсткого запекания. Устройство функционирует в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частиц, при этом отсутствуют выбросы частиц непосредственно в зоне нагрева. Надёжность обеспечена для круглосуточной непрерывной работы без внеплановых простоев на нескольких производственных сменах.
В высокопроизводительном цехе тепловая стабильность — это стабильность процесса. Вы получаете более точный контроль CD, меньше партий с доработками и прогнозируемую работу запекания партия за партией. Сушилка с ИК-нагревом снижает перерасход теплового бюджета, сокращает время цикла и предотвращает сбои линии из-за колебаний температуры. Независимо от того, работаете ли вы на линиях упаковки или внедряете передовые технологические узлы, это отражается на росте выхода годной продукции и стабилизации загрузки оборудования.
Особенность ИК-нагрева в том, что он требует прямой видимости подложки и чистого, отражающего теплового канала. Тени от зажимов или крепежных элементов могут создавать локальные холодные зоны. Поэтому интеграцию планируют с учётом геометрии подложки, эмиссивности и интерфейсов оборудования. При правильном выравнивании обеспечиваются воспроизводимые запекания, минимальное обслуживание и предсказуемое энергопотребление.