In een 24/7-fabriek stopt de productielijn voor niemand. Eén thermische afwijking tijdens het drogen van batterijseparatorfolies beïnvloedt niet alleen de doorvoer, maar kan ook de hechting van de fotolak beschadigen, oplosmiddeldoorvoer veroorzaken en het rendement in de hele lithografiecluster verlagen.
Waar deze droger omheen is gebouwd, is thermische discipline. Mediumgolf-infrarood emitterarrays raken het wafer snel en zonder contact en houden de uniformiteit op waferniveau binnen ±0,1°C. Hij werkt in Class 1–100 cleanrooms zonder deeltjesproductie, wat we in-situ verifiëren. Soft bake- en hard bake-parameters behouden een herhaalbaarheid van beter dan ±0,5°C, cyclus na cyclus—miljoenen keren. Het resultaat is een gecontroleerd thermisch budget dat de foliekwaliteit en interface-reinheid intact houdt.
Betrouwbaarheid is hier geen verkoopargument, maar onderdeel van het ontwerp. De droger draait 7×24 zonder ongeplande stilstand, ondersteund door een redundante hot-swap emittermodule en voorspellende onderhoudslogica. Gesloten regelkring voor het vermogen houdt het energieverbruik binnen grenzen zonder in te leveren op opwarmtijden. Dit zorgt voor consistente foliedroging, voorspelbare bake-profielen en minder uitval, waardoor de apparatuur optimaal benut wordt en de kosten per wafer dalen.
Voor de installatie is een dedicated 208–240V voedingslijn nodig en een geverifieerde afzuigvoorziening voor de oplosmiddeldampen. De droger integreert naadloos met bestaande tracktools, maar houd rekening met een korte inregelperiode om het thermische profiel af te stemmen op uw foliestack en oplosmiddelsysteem. Voor de volumestap dient u een kwalificatieperiode van 48 uur in te plannen om het procesvenster vast te leggen.