Veiligheidsafstand voor waferverwarming
Het goed regelen van IR-verwarming in een slimme fabriek Het opzetten van een slimme fabriek gaat niet alleen om het plaatsen van robots op de vloer...
Precisie IR sensor voor wafer
Het veilig houden van IR-lampen in de buurt van gevaarlijke chemicaliën Het verwarmen van siliciumplakjes tijdens chemische reiniging vereist een...
MEMS sensorwaferverdampingsverwarmer
Wanneer je MEMS-sensoren droogt na een chemische reiniging, heb je veel hitte nodig. Maar hier is het probleem: als je dit doet vlak bij brandbare...
Reflector voor wafer curinglamp
Hoe voorkom je dat de lampen voor het drogen van wafern uitvallen Bij het drogen van wafern is het cruciaal om de juiste temperatuur te bereiken....
Temperatuursensor voor wafergereedschap
Thermische beelden op de juiste manier verkrijgen met uw wafergereedschappen Als u streeft naar een slimmere productieomgeving, heeft u vast al...
Goedkope lamp voor het drogen van wafers
Op de productielijn kan een droogapparaat uitvallen doordat de gloeilamp kapotgaat. Dan zie je alleen nog maar watermerken op de 300 mm grote chips....
Waarom infrarood gebruiken voor waferverwerking
Op de productielijn kun je zien hoe het proces verloopt. De temperatuur stijgt met 2°C, waardoor het profiel van de fotoresist verandert – precies op...
Infrarood versus convectorwarmte voor het drogen van wafers
Op de productielijn kan een wafer die net uit het eindproces komt, geen enkele hoeveelheid watermerken tolereren, zelfs niet één micrometer....
Uniforme warmtedroger voor wafers
Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,1°C op het oppervlak van de wafer al voldoende om de controle over de dikte van de laag te...
Hoge kwaliteit plaatverwarmingslamp
Op de productieafdeling weet je hoe het gaat: een verschil van 1°C tijdens het bakproces kan er al voor zorgen dat cruciale dimensies met enkele...
Polyimide hardening voor chipfabricage
In de lithografieafdeling zorgen de polyimidelagen er voor dat de geavanceerde verbindingen tussen de verschillende onderdelen op hun plek blijven....
Verwarmingslamp voor het verwijderen van wafervocht
Op de fabrieksvloer Vocht op het waferoppervlak blijft niet afwachten. Het verstoort de profielen van fotoresist, gooit kritische afmetingen van de...