Introduzione Abbiamo progettato questa lampada per la disinfezione dei wafer al fine di competere con i prodotti delle grandi aziende americane e...

Nelle linee di produzione, una variazione di temperatura di 0,1°C durante il processo di essiccazione non è semplicemente un dettaglio da considerare...

Sul campo, una macchina per essiccazione smette di funzionare a causa della rottura della lampadina; inoltre, si osservano delle imperfezioni sulle...

Sul piano di produzione, è possibile osservare direttamente cosa succede. La temperatura del wafer aumenta di 2°C, e il profilo termico del...

Nelle linee di produzione, un wafer che è appena uscito dal processo di lavaggio finale non può tollerare nemmeno un micron di umidità sulla sua...

Nella fase di essiccazione dei wafer, un differenziale di temperatura di 0,1°C sulla superficie del wafer è sufficiente per compromettere il...

Sul piano di produzione, si sa come funzionano le cose: una variazione di temperatura di 1°C durante la fase di cottura può influenzare le dimensioni...

Sulla linea di litografia, la produzione continua indipendentemente dal fatto che il profilo di cottura sia ottimizzato o meno. Derive nel soft bake...

On the fab floor, l’umidità sulla superficie del wafer non resta ferma ad aspettare. Influenza i profili del photoresist, altera le dimensioni...