حفظ پاکیزگی اتاقهای کلاس ۱۰۰
اگر شما صاحب یک اتاق کلاس ۱۰۰ هستید، میدانید که چقدر نیاز به پاکیزگی دارد. حتی یک ذره گرد و غبار یا یک تکه فلزی کوچک میتواند همه چیز را خراب کند. در مورد سیستمهای گرمایشی نیمههادی، عنصر گرمایشی معمولاً منبع اصلی آلودگی است.
ما راهی برای جلوگیری از این مشکل پیدا کردهایم؛ با استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بالا، در کنار سیمهای Teflon (PTFE)، توانستهایم جلوی تولید گازها و ذرات معلق را بگیریم.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از کوارتز استاندارد استفاده نمیکنیم؛ چون خلوص آن کافی نیست. در دماهای بالا، کوارتز ارزانقیمت میتواند ناخالصیهایی را در خود داشته باشد؛ اگر این ناخالصیها به ویفرها برسند، منجر به هدر رفتن مواد میشود.
در عوض، ما از کوارتز سنتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم. این لامپها از تشعشعات مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنند؛ این موضوع عالی است، زیرا انرژی مستقیماً به سطح ویفرها منتقل میشود. این کار باعث میشود هوای اطراف گرم نشود و اتاق کلاس ۱۰۰ در دمای مناسبی باقی بماند.
مشکلات مربوط به سیمها
سیمهای PVC یا سیلیکونی در مناطق دارای دمای بالا کارایی لازم را ندارند؛ زمانی که به حد ظرفیت خود برسند، شروع به تولید گازهای 유기ی میکنند. این موضوع در یک اتاق خلا اصلاً مطلوب نیست.
بنابراین، ما از سیمهای PTFE استفاده میکنیم؛ این سیمها از نظر شیمیایی بیاثر هستند؛ یعنی نمیذوبند، تکه نمیشوند، و در برابر گرمای شدید ناشی از لامپ کوارتز مقاوم هستند. این کار باعث میشود اتصال الکتریکی محکم و پاکیزه باشد.
نکاتی که باید در نظر گرفت
هیچ چیز کامل نیست؛ همیشه معایبی وجود دارد. PTFE کمی سفتتر از سیلیکون است؛ بنابراین نمیتوان آن را به راحتی خم کرد؛ در نتیجه، باید فاصله بیشتری برای خم شدن سیمها در نظر گرفت.
علاوه بر این، از آنجایی که این لامپها مقدار زیادی گرما تولید میکنند، باید سیستمهای خنککننده مناسبی داشته باشید. اگر انتهای لامپ بیش از حد گرم شود، سیستمهای ضدنشتی ممکن است دچار مشکل شوند. مهم این است که سیمها چقدر خوب باشند؛ اما اگر سیستمهای ضدنشتی دچار مشکل شوند، هیچ فایدهای ندارد.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سادهای برای گرمایشکنندههای فعلی باشند. ما اولویت را به خلوص مواد دادیم؛ زیرا در این محیط، خلوص مواد اهمیت زیادی دارد.