تولید محصولات نیمهفرآوری شده با کربن خنثی: بیایید درباره لامپهای مادون قرمز بدون ازون صحبت کنیم.
اگر تا به حال در اتاقهای پاک کار کرده باشید، میدانید که تنظیم دقیق پارامترهای حرارتی کاری دشوار است. اکثر ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم، اما این لامپها مشکلاتی دارند؛ آنها تشعشعاتی در بازه ۱۸۵ نانومتر تا ۲۵۴ نانومتر ساطع میکنند، و این امر باعث میشود هوا به نوعی «کارخانه تولید ازون» تبدیل شود.
ازون یک مشکل بزرگ است؛ آن مواد مورد استفاده در تجهیزات شما را از بین میبرد و سیستمهای تهویه هوا را مجبور میکند تا برای حفظ کیفیت هوا، فعالیت بیشتری انجام دهند. این امر هم باعث هدررفت انرژی و هم مشکلاتی برای نگهداری تجهیزات میشود.
ما راه بهتری پیدا کردهایم؛ با استفاده از غلافهای کوارتزی که طول موجهای خاص UV را فیلتر میکنند، میتوانیم مشکل ازون را از همان ابتدا از بین ببریم.
راز در خود شیشه است.
کوارتز استاندارد اجازه میدهد تمام تشعشعات عبور کنند؛ ما از کوارتزهای دارای پوشش ویژه استفاده میکنیم که نقش فیلتر را ایفا میکنند. این پوششها مانع از تشکیل ازون میشوند، اما اجازه میدهند طول موجهای گرمایشی عبور کنند. در نتیجه، شما گرمای مورد نیاز خود را دریافت میکنید، اما هیچ گاز مضری وجود ندارد. ساده است.
افزایش توان
برای پردازش ویفرها با سرعت مورد نیاز، به توان بالایی در هر میلیمتر نیاز دارید. وقتی چنین تراکم توانی وجود داشته باشد، اجسام سریعتر گرم میشوند؛ این امر باعث کاهش زمان استراحت تجهیزات و هدررفت کمتر انرژی میشود. این روش، راهی برای کاهش میزان کربن تولید شده است.
اما یک نکته مهم: قبل از استفاده از این لامپها، حتماً منبع تغذیه آنها را بررسی کنید؛ اگر ولتاژ منبع تغذیه با لامپ مطابقت نداشته باشد، لامپها زودتر خراب خواهند شد. همچنین، اگر سعی کنید توان بیشتری را در یک لوله کوتاه قرار دهید، پوششهای لامپ آسیب خواهند دید. باید سیستم خنککننده لامپ را به درستی تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، مشکلاتی پیش خواهد آمد.
چند نکته برای توجه
این لامپها جایگزین کردنشان آسان است، اما دقیقاً مانند لامپهای قدیمی نیستند. به دلیل پوشش ویژه، طیف تشعشعات لامپ کمی تغییر میکند؛ بسته به مواد تشکیلدهنده ویفر، ممکن است تغییرات کوچکی در نحوه جذب گرما توسط ویفر مشاهده شود.
توصیه من این است: پس از جایگزینی لامپها، کمی وقت بگذارید تا کنترلکنندههای PID را دوباره تنظیم کنید؛ این کار یک مرحله سریع برای کالیبراسیون است، اما به شما کمک میکند تا دمای تجهیزات را کنترل کنید. این تنها راه برای اطمینان از کاهش مصرف انرژی است.